판매용 중고 DISCO DCS 141 #293820790

DISCO DCS 141
ID: 293820790
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 141은 DISCO Corporation의 자회사 인 전자 및 기술 회사 DISCO가 설계 한 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 최첨단 스크러버를 사용하면 생산에 사용되는 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 에서 빠르고 신뢰할 수있는 입자를 제거 할 수 있습니다. DISCO DCS141은 고출력 제트 (jet) 메커니즘을 통해 회로 패턴에서 오염 물질을 빠르고 쉽게 제거 할 수 있습니다. 이 "스크러버 '는" 실리콘 칩' 과 "알루미나 '에서 산화물 과 수동층 에 이르기 까지 직경 이 150" 밀리미터' 나 되는 고감도 기질 을 처리 할 수 있다. 또한, 이 스크러버는 두껍고 망상 된 모양, 생산 라인 마스크 (production line mask) 를 청소하는 데 이상적입니다. 또한 간편하고 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 작업 및 모니터링을 간편하게 수행할 수 있습니다. 고속 웨이퍼 인덱서는 클리닝 전에 정확한 기판 위치 및 정확한 정렬을 보장합니다. 긁힘과 오염을 줄이기 위해 스크러버 (scrubber) 는 와퍼 (wafer) 와 마스크 표면에 접촉하지 않도록 내장 된 드라이 흡입 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, "스크러버 '에는 청소 과정 전체 에 걸쳐 기판 을 최적 의 온도 로 유지 하는 데 도움 이 되는 통합 온도 조절" 시스템' 이 있다. 안전성 측면에서, DCS 141 에는 자동 안전 차단 (safety shoff) 기능이 장착되어 있어, 클리닝 프로세스를 즉시 해제하면 비정상적으로 높은 온도 또는 기타 불규칙성을 감지할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 가동 중에 투여 된 공기 미립자의 양을 제한하는 데 도움이 되는 먼지 없음 (dust-free) 및 진동 감축 구조로 설계되었습니다. 전반적으로, DCS141은 안정적이고 강력한 디자인, 간단한 사용자 인터페이스를 갖춘 산업 등급의 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 "스크러버 '는 매우 빠르고, 정확 하고, 안전 하며, 기판 청소 가 가능 한 한 효율적 이고 철저 하다. DISCO DCS 141을 사용하면 프로덕션 라인에서 모든 실행에서 결함이 적고 기판이 더 깨끗해질 수 있습니다.
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