판매용 중고 DISCO DCS 141 #293807257

DISCO DCS 141은 칩 제조 산업에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 그것 은 여러 기판 에서 섬세한 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 완전 히 청소 하고 문지르게 할 수 있는 고급 청소 장치 를 갖추고 있다. 또한 DISCO DCS141 은 단일 주기로 최대 40 개의 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 처리하여 대용량 생산에 적합합니다. 스크러버는 브러쉬 및 연마 웨이퍼뿐만 아니라 CVD (pulsed chemical vapor deposition) 청소 기술을 사용하는 2 단계 청소실로 구성됩니다. 이 고급 시스템은 철저하고 일관된 청소 프로세스를 제공합니다. 제 1 단계에서, CVD 청소 기술은 웨이퍼 및 마스크 표면에 입자와 얼룩을 녹이는 거품을 증착시킨다. 그런 다음 브러쉬와 연마 웨이퍼를 사용하여 2 단계에서 거품이 제거됩니다. 이것 은 불순물 과 파편 을 기질 에서 제거 하고, 물질 에 대한 잠재적 인 손상 을 최소화 하는 데 도움 이 된다. DCS 141 (DCS 141) 에는 챔버의 상대 습도 수준을 감지 할 수있는 통합 습도 센서가 장착되어 있습니다. 이것 은 그 과정 을 더 잘 제어 할 수 있게 해 주며, "웨이퍼 '와" 마스크' 가 적절 한 수분 수준 을 유지 하도록 한다. 또한, 스크러버 (scrubber) 에는 다양한 지우기 시간 및 클리닝 강도 수준을 허용하여 광범위한 작동 조건을 허용하는 다중 모드 작동 모드가 있습니다. 또한 DCS141 은 사용자 친화적인 LCD 화면과 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 탑재하여 운영자에게 청소 프로세스에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 에는 프로세스 상태를 모니터링하는 데 도움이 되는 고급 작업 워크플로우 (enhanced task workflow) 와 진단 장치 (diagnostic unit) 도 있습니다. 이것 은 "스크러버 '를 통하여 가공 하는 재료 의 질 을 일관성 있게 유지 하는 데 도움 이 된다. DISCO DCS 141 (DISCO DCS 141) 은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로 섬세한 기판을 쉽고 일관성으로 처리 할 수 있습니다. 첨단 클리닝 머신 (advanced cleaning machine) 은 모든 주기로 최적의 결과를 제공하도록 설계되어 모든 칩 제조 설비에 이상적인 선택입니다.