판매용 중고 DISCO DCS 141 #293793929

디스코 DCS 141 (DISCO DCS 141) 은 효율적이고 안정적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 다양한 생산 응용 프로그램의 요구를 충족시킬 수 있습니다. "실리콘 웨이퍼 '와" 포토마스크' 의 표면 을 부드럽게 청소 하고 연마 시키고 그 구조, 특징 및 안정성 을 유지 하도록 설계 되었다. 청소 속성은 stoichiometric etch and clean process, semiconductor production, deposition, bonding, de-seaming 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. DISCO DCS141 스크러버는 일괄 또는 단일 조각 구성에서 최대 7 인치 직경, 최대 200 개의 구성 요소를 처리 할 수 있습니다. 장비의 세면실 (wash chamber) 은 쉽게 열리고 닫을 수 있으므로 사용 및 유지 보수가 간단합니다. 이 약실 은 여러 가지 청소 "해결책 '을 수용 할 수 있으며, 손상 을 초래 할 수 있는 화학 물질 과 오염 물질 의" 스플래시' 를 막는 깊은 분지 로 설계 되었다. 또한 공압 후퇴 시스템 (Pneumatic Retraction System) 을 갖추고 있으며, 청소 중에 웨이퍼와 부품을 안전하게 잡고 보관합니다. 견고한 DCS 141 스크러버에는 기존의 스크러빙 (scrubbing) 기술보다 효과적이고 우수한 통합 장력 제어 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 웨이퍼 (wafer) 와 스크러빙 (scrubbing) 요소 사이의 압력을 마모가 줄어들고 웨이퍼 (wafer) 전위의 가능성을 제거하도록 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 스크러빙 조건을 쉽고 정확하게 조정 할 수있는 단일 포인트 디지털 교정도 포함되어 있습니다. DCS141 스크러버 (scrubber) 는 고효율 슬러리 스크러빙 암 (slurry scrubbing arm) 을 장착하여 필터 변경 빈도가 높지 않은 상태에서 뛰어난 클리닝 결과를 제공합니다. 제어륜 (Control Wheel) 을 사용하면 압력과 속도를 쉽게 조정할 수 있으며, 이를 사용하여 스크러빙 액션을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 다른 응용 프로그램 및 기판에 다른 압력 설정 (스크러빙 프로세스 중 웨이퍼 보호) 을 사용할 수 있습니다. DISCO DCS 141은 안전과 편의를 염두에 두고 설계되었습니다. 효율적인 여과 도구 (filtration tool) 는 입자와 오염 물질을 제거하여 스크러버 환경을 쉽게 모니터링합니다. 이 자산은 자동 종료 (automatic shutdown) 및 자체 진단 모니터링 (self-diagnostic monitoring) 기능을 통해 사용자가 발생할 수 있는 모든 기계적 문제를 경고합니다. 이러한 모든 기능을 통해 DISCO DCS141은 효율적이고, 안정적이며, 웨이퍼 및 마스크 스크러버를 쉽게 유지할 수 있습니다.