판매용 중고 DISCO DCS 141 #293793533

DISCO DCS 141은 반도체 처리 산업의 실리콘 웨이퍼 및 레티클을 청소하도록 설계된 단일 챔버, 폐쇄 루프 스크러버입니다. 이 제품은 매우 정밀하고 정확성을 유지하면서, 민감한 재료를 청소해야 하는 과제에 대해 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다 (영문). DISCO DCS141은 청소하는 동안 최대 3 개의 6 "(15cm) 웨이퍼 또는 2 개의 10" (25cm) 웨이퍼를 안전하게 유지할 수있는 메인 챔버를 특징으로합니다. 이온화 된 물의 부드러운 다작용 스프레이 (multi-action spray) 와 기계식 스크러빙 (scrubbing) 및 화학 에칭 (etching) 의 연마 용액은 재료 표면이 손상되지 않고 올바르게 청소됩니다. DCS 141의 챔버는 단순하지만, 매우 효과적인 공기 건조 장비 및 잔해 수집 시스템으로 설계되었습니다. 공기 건조 장치 (air-drying unit) 는 재료의 수분 축적을 방지하는 데 도움이되며, 잔해 수집 기계는 청소 과정에서 변위 된 입자를 수집합니다. 주 챔버에는 3 상 UV 광 도구 (3 상 UV light tool) 가 사용되어 존재할 수있는 미생물 또는 박테리아를 제거하는 데 도움이됩니다. DCS141 은 안전한 먼지 없는 전송 자산 (Transit Asset) 을 갖추고 있으며, 이 자산을 다음 클리닝 또는 처리 단계로 안전하게 전송합니다. 이 모델은 와퍼와 레티클 (reticle) 이 프로세스 간 이동 중에 깨끗하고 그대로 유지되도록 도와줍니다. DISCO DCS 141의 사용자 인터페이스는 빠르고 쉽게 작동하도록 설계되었습니다. 사용자는 미리 프로그래밍된 명령을 선택하거나, 단순히 코드를 입력하여 스크러빙 프로그램을 사용자 정의할 수 있습니다. 내장 진단 장비를 사용하여 작업 중에 발생할 수 있는 문제를 해결할 수 있습니다 (영문). 전반적으로, DISCO DCS141은 정확성과 정확도가 높은 웨이퍼 (wafer) 와 레티클 (reticle) 을 빠르고 효율적으로 청소해야 하는 모든 상황에 적합한 선택입니다. 공기 건조 및 잔해 수집 시스템 (air-drying and debris collection systems) 은 재료의 원하는 깨끗함을 유지하는 데 도움이되며, 직관적인 사용자 인터페이스는 사전 프로그래밍 된 명령과 사용자 정의 프로그램을 모두 허용합니다.