판매용 중고 DISCO DCS 141 #293767270
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DISCO DCS 141 (DISCO DCS 141) 은 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 웨이퍼 및 마스크와 같은 대형 기판의 정밀 청소를 위해 특별히 설계되었습니다. 이 스크러버는 최첨단 웨이퍼 및 마스크 프리 클린 (pre-clean) 시스템을 사용하여 청소 및 복원 재료에 화학적 작용과 기계적 작용을 모두 적용합니다. 스크러버 (scrubber) 에는 웨이퍼 (wafer) 와 그 마스크 표면에 고착 된 유기 및 미립자 오염 물질을 제거하는 다단 청소 과정이 있습니다. "디스코 DCS141 '에는 모든 오염 물질 을 효과적 으로 제거 하기 위한 화학적 작용 과 기계적 작용 을 모두 하는" 클리닝 브러쉬' 가 있는 진공실 이 있다. 이 약실 에는 또한 건조 성분 이 있는데, 이 성분 은 기판 을 신속 히 건조 시키고, 다음 처리 단계 에 대비 할 준비 를 갖추도록 도와 준다. 그렇다. DCS 141 에는 양극성 청소 (bi-polar scale of cleaning) 가 제공되며, 이는 청소 프로세스를 기판의 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의하는 데 도움이됩니다. 이 시스템은 특정 온도, 유량, 유지 시간 및 스크러빙 압력을 설정할 수 있습니다. 온도 조절 (temperature control) 은 청소 과정에서 기판이 손상되지 않도록 보장하기 때문에 특히 중요합니다. 스크러버 (scrubber) 의 디자인은 또한 이동성을 제공하여 거의 모든 환경에서 사용하기에 적합합니다. 이 작업은 모듈식 (modular) 설계를 통해 수행되며, 이를 통해 사용자는 스크러버를 한 프로덕션 사이트에서 다른 프로덕션 사이트로 이동할 수 있습니다. 이렇게 하면 여러 위치에 걸쳐 손쉽게 wafer 및 mask 클리닝 프로세스를 수행할 수 있습니다. DCS141 (DCS141) 은 매우 효율적이고 안정적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 대형 기판의 정밀 청소를 위해 설계되었습니다. 멀티 스테이지 클리닝 프로세스, 사용자 정의 가능한 설정, 모듈식 설계 등을 통해 탁월한 클리닝 성능을 제공합니다. 이것은 바쁜 생산 사이트를위한 이상적인 청소 솔루션입니다.
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