판매용 중고 DISCO DCS 141 #293642354

DISCO DCS 141
ID: 293642354
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 141은 초정밀 청소실 에칭 및 스크러빙 작업을 수행하도록 설계된 마이크로 프로세서 제어 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 시스템은 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 와 같은 섬세하고 복잡한 기질에 대한 스커밍 제거, 스 머링 제거, 스트리핑 및 기타 화학 치료 응용 분야에 이상적입니다. 이 장치는 특허를 받은 클리닝 방법을 사용하여 처리 된 표면의 손상을 방지합니다. 이 메커니즘은 강력한 웨이퍼 스크러빙 모듈과 전략적으로 정의 된 힘 커브 (force curve) 및 활성 공기 흐름 (active air flow) 을 결합하여 각 기판을 완전히 균등하게 청소하여 최적의 결과를 보장합니다. 매우 정확한 DISCO DCS141 웨이퍼 및 마스크 스크러버에는 안정적이고, 재현 가능하며, 처방된 청소 성능을 보장하는 스크러빙 헤드 서보가 내장되어 있습니다. 스크러버에는 간단한 기계 작동 및 모니터링을 제공하는 고해상도 OSD (Digital On-Screen Display) 가 장착되어 있습니다. 또한 구성을 더 쉽게 할 수있는 다국어 메뉴가 있습니다. '메뉴' 수준은 사용자의 필요에 따라 조정할 수 있으므로 다양한 기능을 신속하게 액세스하고 최적화할 수 있습니다. 시스템에 내장된 자동 진단 시스템을 사용하여 작업의 안정성, 일관성 및 최적화를 보장합니다. 청소 변수 (cleaning variations) 에서 작은 변형을 감지할 수 있으며, 여러 가지 요인을 자동으로 보완하여 최적화된 청소 결과를 얻을 수 있습니다. 커스터마이징 가능한 매개변수는 응용 분야에 따라 다양한 금속 및 기타 기판에 다양한 화학 에칭 솔루션 (etching solution) 을 사용할 수 있습니다. DCS 141은 직관적이고 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 이 제품은 PC 연결 없이도 작동할 수 있는 오프라인 (offline) 작업 소프트웨어와 함께 제공됩니다. 오토-티치 (auto-teaching) 기능이 기본으로 제공되며, 오퍼레이터는 최소한의 노력으로 새로운 레시피를 만들고, 매개변수를 빠르게 조정하여 주어진 프로세스의 결과를 최적화할 수 있습니다. 또한, DCS141은 인상적인 IP65 물 및 먼지 보호 학위로 지속되도록 제작되었습니다. 이 기계의 우수하고 내구성이 뛰어난 구조는 첨단 화학 내성 커버와 효율적인 공기 여과 시스템 (Air Filtration System) 으로 보완됩니다. 화학적 청소 공정에 도전하는 경우에도 안전한 작동과 좋은 결과를 얻기 위해 DISCO DCS 141은 Si, SiO2, SiN 및 GaAs 장치와 같은 에칭에 취약한 장치를 위해 설계되었습니다. 전반적으로, DISCO DCS141은 안정적이고 직관적이며 효과적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 고정밀 청소 작업을 보장합니다. 고급 기능을 통해 운영자는 최소한의 노력으로 원하는 결과를 빠르고 정확하게 생성할 수 있습니다.
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