판매용 중고 DISCO DCS 141 #293629359

DISCO DCS 141 웨이퍼 & 마스크 스크러버 (wafer & mask scrubber) 는 다양한 크기의 반도체 웨이퍼와 마스크를 청소하고 폐기하는 효율적인 수단을 제공하는 고성능 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 스크러버 (scrubber) 는 증기 추출 장비를 사용하며 기판 및 마스크 생산 라인에 사용하도록 설계되었습니다. 스크러버는 직경이 6 인치에서 60 인치 사이의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 다양한 스크러빙 압력을 가지고 있습니다. 스크러버는 양면 스크러버 모듈과 분리기, 팬, 필터, 배기 덕트로 구성된 추출 시스템으로 구성됩니다. "스크러버 '는 서로 반대 방향 으로 회전 하는 두 개 의" 스크러빙' 판 을 갖추고 있으며, 압력 과 속도 에 맞게 개별적 으로 조정 할 수 있다. 스크러빙 플레이트는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어지고 한쪽은 이빨로, 반대쪽은 매끄럽습니다. 이렇게 하면 웨이퍼와 마스크를 철저히 청소하고, 균질하고 고품질의 서피스 마무리를 보장할 수 있습니다. 또한 "스크러버 '에는 파편 과 먼지 가" 필터' 에 들어가지 못하게 하는 추출 장치 나 긁는 동안 "웨이퍼 '나" 마스크' 가 장착 되어 있다. 추출 기계 는 작은 입자 를 제거 하는 데 효과적 이며, 가변 속도 조절 (Variable Speed Control) 으로 조정 할 수 있는데, 이것 을 통해 더 높은 "스크러빙 '압력 혹은 더 낮은 압력 을 낼 수 있다. 스크러빙 플레이트 (scrubbing plate) 는 온도를 제어하여 청소 및 분해 공정의 일관된 온도를 보장하며, 추가 안전을 위해 냉각시킬 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 안전성을 위해 설계되었으며, 안전 경비원 (Safety Guard) 이 운영자로부터 스크러빙 플레이트를 분리하고, 덮개 잠금 장치 (Lid Lock) 를 사용하여 스크러버가 꺼진 위치에 있을 때만 뚜껑을 열 수 있습니다. 세척기 (scrubber) 는 또한 청소 과정에서 최적의 조명을 보장하기 위해 빛이 내장되어 있으며, 비상 사태의 경우 빠른 종료를 위한 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼을 제공합니다. 또한, 스크러버 (scrubber) 는 작동하기 쉽고 최소한의 유지 보수가 필요하며, 내장 진단 도구가 문제 해결 프로세스를 지원합니다. DISCO DCS141 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 웨퍼 및 마스크 스크러빙의 최고 품질을 제공하는 효율적이고 안정적인 툴로서 유연하고, 비용 효율적이며, 안전한 클리닝이 가능합니다.