판매용 중고 DISCO DCS 141 #293609679

DISCO DCS 141은 현대 반도체 제조 공정에서 가장 높은 청결 표준을 보장하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 최첨단 장비는 기판, 마스크, 도구에서 먼지, 입자, 이물질을 제거하는 데 효과적입니다. 스크러버 (scrubber) 는 뛰어난 성능과 효율성에 기여하는 다양한 기능을 자랑합니다. 우선, 0.05 mm 이내의 정확성을 제공하는 고정밀 웨이퍼 정렬 시스템을 제공합니다. 또한 웨이퍼/마스크 (wafer/mask) 모양을 기반으로 가변 청소 방향을 제공하여 칩의 주변부 또는 하단에 먼지 입자가 남아 있지 않습니다. 이를 통해 각 칩의 정확한 기능을 보장할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 블로우 오프 시스템 (blow-off system) 도 포함되어 있으며, 이 시스템은 기판, 마스크 및 도구에서 먼지, 입자 및 이물질과 같은 이물질을 날려 버립니다. 이것은 최고 청결 표준을 보장합니다. 또한, "웨이퍼 '와" 마스크 스크러버' 는 각 "마스크 '에 균열, 줄무늬 및 기타 결함 을 신속 히 검사 하는 시력 검사 기술 을 갖추고 있다. 이것은 오염을 감지하고 스크러빙 프로세스의 정확성을 높이는 데 도움이됩니다. 스크러버 (scrubber) 의 패널 지향 디자인은 스크러빙 프로세스 매개변수에 쉽게 액세스하여 제조를 간소화합니다. 따라서 각 프로세스의 특정 요구에 따라 레시피를 설정하고, 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한, 스크러버의 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 레시피에 쉽게 액세스하고, 분석하고, 설정하고, 클리닝 프로세스를 시작할 수 있습니다. 요약하면, DISCO DCS141은 가장 까다로운 반도체 제조 공정을 처리하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 최고 청결 기준을 보장하기 위해 0.05mm 이내의 정밀도, 가변 청소 방향, 블로우 오프 시스템, 비전 검사 기술을 제공합니다. 또한, 패널 중심의 디자인과 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 쉽게 설치 및 작동할 수 있습니다.