판매용 중고 DISCO DCS 141 #293585676

DISCO DCS 141은 노출 및 필름 증착 전에 반도체 웨이퍼, 레티클 및 기타 기판 표면을 청소하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버는 정밀 스크러빙 (scrubbing) 및 클리닝 어플리케이션을 위한 고속, 신뢰성, 경제적인 솔루션입니다. DISCO DCS141 스크러버는 최대 300mm 웨이퍼 및 레티클을 청소할 수 있으며, 300mm 및 200mm 제조 공정에 모두 사용됩니다. DCS 141은 뛰어난 청소 성능을 위해 고급 스크러빙 기술을 사용합니다. 이 설계에는 최대 스크러빙 효율과 균일 한 깨끗한 분포를 보장하기 위해 가변 속도의 2 쌍의 콘트라 회전 브러쉬 (contra-rotating brushe) 가 있습니다. 스크러빙 액션은 전동 구동 샤프트 (motorized drive shaft) 에 의해 구동되며, 브러시리스 모터로 구동됩니다. 이 브러시리스 모터는 최소 마모와 눈물로 고속, 정밀 스크러빙 액션을 제공합니다. 또한, DCS141은 스크러브 된 표면이 깨끗하고 오염 물질이 없도록 환경 제어 기능을 갖추고 있습니다. DISCO DCS 141 은 사용자 친화적, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 시간 스크러빙 (scrubbing) 및 클리닝 주기 상태에 대한 정보를 제공합니다. 또한 스크러빙 사이클 (scrubbing cycle) 설정을 사용자 정의할 수 있는 다양한 컨트롤이 있습니다. 설정에는 스크러빙 압력, 속도 및 볼륨이 포함됩니다. 또한, 이 시스템에는 다양한 진단 및 안전 기능 (예: 과부하 방지, 오류 로깅) 이 제공됩니다. DISCO DCS141 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 광범위한 청소 화학 물질과 작동하도록 설계되었으며 다양한 기판 재료와 호환됩니다. 대규모 반도체 제조 및 의료 기기 제조에 이상적입니다. 그 에 더하여, "스크러버 '는 자동차 에서 항공 우주 에 이르기 까지, 여러 가지 산업 의 구체적 인 필요 를 충족 시키기 위하여 적응 할 수 있다. 요약하면, DCS 141은 반도체 웨이퍼, 레티클 및 기타 기판 표면을 청소하기위한 신뢰할 수 있고, 고속, 비용 효율적인 스크러버입니다. 사용자 친화적이고 직관적인 사용자 인터페이스와 다양한 기능 (예: 정밀 스크러빙, 환경 제어 기능, 진단/안전 기능) 을 갖춘 DCS141은 광범위한 산업 어플리케이션을 위한 다용도, 내구성 있는 스크러버입니다.