판매용 중고 DISCO DCS 140 #9302501

DISCO DCS 140
ID: 9302501
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 140은 일본의 강력하고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 고급 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼 및 사진 마스크에서 모든 유형의 입자와 오염 물질을 제거하도록 설계되었습니다. 기계에는 다양한 크기의 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 에 적합한 운송 장비가 있습니다. 웨이퍼 및 마스크 스크러버에는 베이스 유닛, 보조 유닛, 노즐 시스템 및 스크러빙 유닛이 있습니다. 기본 장치는 사용자 친화적 인 작동을 제공하는 터치 스크린 디스플레이 (touchscreen display), 웨이퍼 및 마스크 전송 작업을 제어하는 마이크로프로세서 (microprocessor), 전원 공급 장치, 경보기 및 가압 공기 솔루션 (pressurized air solution) 을 갖춘 작동 패널로 구성됩니다. 수송 도구는 대형 수송 휠, 진공 흡입 실린더, 리프트 암이있는 컨베이언스 벨트 (Conveyance Belt) 로 구성됩니다. "벨트 '는 주 장치 에서 단일" 웨이퍼' 나 "마스크 '를 로드 하고 언로드 할 수 있다. 진공 흡입 실린더 (vacuum suction cylinders) 는 효율적인 수송을 보장하고 리프트 암은 필요한 압력을 부여합니다. 노즐 에셋은 이중 노즐 모델을 특징으로하며, 스크러버가 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 양면을 청소할 수 있습니다. 노즐 장비는 최적의 청소 성능을 위해 조절 가능한 각도, 제트 너비, 회전 공기 흐름을 특징으로합니다. 공기 의 흐름 이 기울어진 경사면 을 통과 하도록 "스크러빙 '장치 가 설치 되는데, 이것 은 청소 하는" 웨이퍼' 와 "마스크 '의 크기 에 맞추어 조정 된다. 이 장치에는 균일 한 스크러빙을 보장하기 위해 로터리 스크러빙 암이 있습니다. DISCO DCS140 (DISCO DCS140) 은 웨이퍼와 마스크를 위한 효율적이고 강력한 스크러버로, 효율적이고 안정적인 성능과 사용자에게 친숙한 제어판을 제공합니다. 조정 가능한 스크러빙 암 (scrubbing arm), 노즐 머신 (nozzle machine) 및 전송 도구 (transport tool) 를 사용하면 이러한 고급 스크러버의 모든 기능을 활용할 수 있습니다. "웨이퍼 '와" 마스크 스크러버' 는 여러 가지 기판 에 효과적 이고 효율적 인 청소 를 해 주며, 이것 은 "반도체 '산업 의" 응용프로그램' 청소 를 위한 훌륭 한 선택 이다.
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