판매용 중고 DISCO DCS 140 #9277978

DISCO DCS 140 (DISCO DCS 140) 은 반도체 산업을위한 산업 솔루션 제조업체 인 DISCO Corporation이 개발 한 웨이퍼 및 마스크 스크러버 머신입니다. 그것 은 반도체 "칩 '과 기타" 마이크로' 전자 장치 의 제조 공정 에 사용 되는 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 청소 하도록 설계 되었다. "스크러버 '는 가열 되고 가압 된" 클리닝' 용액 의 "스프레이 '를 이용 하여" 웨이퍼' 와 "마스크 '의 섬세 한 표면 에서 표면 오염 물질 을 깨끗 이 하고 기판 의 표면 의 수준 사이 에서 입자 를 제거 한다. 청소 과정이 시작되면 웨이퍼 또는 마스크가 DISCO DCS140의 2 도어 챔버에 배치됩니다. 그런 다음 챔버를 밀봉하여 8.6psi로 가압하고 29-32 ° C로 가열합니다. 다음 에, 세제 "폼 '이" 챔버' 에 소개 되는데, 그것 은 가압 된 공기 와 뜨거운 물 에 의해 추진 되어 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 표면 을 긁는다. 거품 과 가압 액체 "스프레이 '의 결합 은" 웨이퍼' 와 "마스크 '의 표면 에서 흙, 기름 및 기타 오염 물질 을 제거 하는 데 도움 이 된다. 청소가 완료되면 온수 스프레이 (hot water spray) 에 의해 잔류 재료가 찢어집니다. 물은 또한 챔버와 가공 된 웨이퍼 또는 마스크를 냉각시킵니다. 마지막으로, 챔버가 감압되면서 웨이퍼/마스크는 여과 된 공기로 건조됩니다. 배달 속도 및 방울 크기, 스크러빙 온도 및 압력은 DCS 140에서 조정 할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 터치 스크린 제어판을 통해 운영자가 이 작업을 수행할 수 있습니다. DCS140 은 안전성 향상을 위해 설계되었으며, 안전 래치 (Safety Latch) 기능은 압력을 가하지 않는 한 챔버 개방을 방지합니다. 또한 모든 주요 구성 요소에는 e-스톱 (e-stop) 스위치가 장착되어 있어 비상 사태가 발생할 경우 빠르고 안전하게 시스템을 종료할 수 있습니다. 또한 DISCO DCS 140 은 비용 효율성과 처리량이 높으며, 최대 용량은 실행당 28 웨이퍼입니다. 또한, 기계는 유지 보수가 쉽고, 사용량이 적도록 특별히 설계되었습니다. 따라서 처리 비용이 크게 절감됩니다. DISCO DCS140은 다양하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버 기계입니다. 안정적이고 일관된 청소 성능, 생산량 향상, 비용 절감을 위해 설계되었습니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 광범위한 반도체 애플리케이션에서 사용하기에 이상적이며, 빠르고 일관된 결과를 보장합니다.