판매용 중고 DISCO DCS 140 #9277969

ID: 9277969
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 140 (DISCO DCS 140) 은 최고, 가장 깨끗하고 안정된 평면 처리 성능을 제공하도록 설계된 고급 고성능 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 모델은 처리 시간, 비용, 위험 요소를 최소화하면서 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. DISCO DCS140은 고급 스크러빙 기술을 통해 웨이퍼와 마스크를 철저히 청소하고 닦습니다. 이 모델에는 고급 4 축 제어 장비가 장착되어 있어 정확하고 균일 한 스크러빙 및 최소 웨이퍼 투 웨이퍼 (wafer-to-wafer) 변형이 가능합니다. 회전 스핀들 (rotary spindle) 과 모터 (motor) 가 개선되어 정확한 청소가 가능하며 스핀들 감지 기능은 회전하는 스크러버 헤드의 정확한 위치를 보장합니다. 기판 전체 표면에 걸쳐 SPI (Optimal Scratch Per Inch) 제어 및 일관된 청결을 달성하려면 고급 진동 연마 및 스크러빙 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 고압 물 분무 장치는 웨이퍼와 마스크를 철저하고 효과적으로 청소합니다. "세제 '배달기 는" 스크러버' 의 최적 설정 에 따라 청결 을 보장 하는 데 필요 한 정확 한 "세제 '를 공급 하도록 설계 되었다. 세밀한 링 포지셔닝 정확성과 짧은 스크러빙 사이클 시간은 사이클 시간을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한, 이 모델은 사용자의 특정 프로세스에 맞게 사용자 정의할 수 있으며, 최소한의 운영자 교육을 통해 빠르고 효율적인 변경 (changeover) 을 가능하게 합니다. 마지막으로 DCS 140 은 안전하고 안전한 운영을 제공하도록 설계되었습니다. 여기에는 청소 세션 중에 생성 된 오존 및 기타 가스를 제거하는 오존 배기 가스 청소 도구가 포함됩니다. 멀티 스텝 안전 설계 (Multi-Step Safety Design) 는 시장에서 가장 신뢰할 수있는 스크러버 중 하나이며, 대규모의 오픈 액세스 설계로 인해 깨끗하고 유지 보수가 용이합니다. 전반적으로 DCS140 스크러버 (Scrubber) 는 고급, 고성능, 신뢰할 수 있는 장치로, 사용자가 최고 품질의 평면 구성 성능을 달성하는 동시에 처리 시간, 비용, 위험을 줄일 수 있도록 도와줍니다.
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