판매용 중고 DISCO DCS 140 #9255326

DISCO DCS 140은 반도체 공정 챔버에 사용하도록 설계된 습식 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 그것 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 수동 문지르기 를 없애고, 입자 와 유기 오염 을 감소 시키고, 일관성 있는 결과 를 제공 하도록 설계 되었다. 스크러버는 기계식 스크럽 공정과 화학 스크럽 공정을 포함하는 2 단계 공정을 사용합니다. 기계식 스크럽 (scrub) 공정에서 스크러버 (scrubber) 플랫폼에 웨이퍼가 로드되고 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 기계식 스크러브 (scrub) 가 진동 및 회전 동작의 정확한 조합으로 웨이퍼를 스크럽합니다. 화학 "스크럽 '공정 에서, 청소제 는" 웨이퍼' 에 분배 되고, 물 분무기 는 "와퍼 '표면 에서 잔여 입자 를 제거 하는 데 사용 된다. 클리닝 에이전트는 기계적 스크럽 프로세스에 의해 생성 된 잔류를 효과적으로 제거합니다. DISCO DCS140 스크러버에는 몇 가지 기능이 장착되어 있어 안정적인 스크러빙 성능을 보장합니다. 이 시스템에는 순차적 인 시스템 (웨이퍼 (wafer) 가 2 개의 챔버 사이 또는 단일 챔버 (single-chamber) 시스템 사이에서 이동) 에서 사용할 수있는 2 챔버 시스템이 있습니다. 여기서 웨이퍼는 스크러빙 프로세스 전체에서 동일한 챔버에 유지됩니다. 또한 사용자가 필요에 따라 스크러빙 매개변수를 조정할 수 있는 두 가지 작동 모드 (자동 (automated) 및 수동 (manual)) 가 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 스크러빙 헤드 높이의 자동 제어, 물 탱크를 리필해야 할 때 감지하는 습도 센서, 운영자가 잠재적 인 위험으로부터 보호되는 안전 그물 (Safety Net) 및 장벽 (Barrier) 등 안전 기능이 내장되어 있습니다. 또한 제어판 (Control Panel) 에서 원격으로 작동하여 운영 프로세스의 유연성을 높일 수 있습니다. DCS 140 스크러버는 발자국이 900H x 600W x 600D mm 인 소형 바디로, 공간이 제한된 시설에 적합합니다. 경량 구조는 또한 뛰어난 이동성을 갖춘 스크러버를 장착합니다. 또한, 스크러버에는 최대 7.1 리터의 물을 수용하는 물 탱크 (water tank) 가 장착되어 리필 없이도 더 긴 스크러빙 사이클 (scrubbing cycle) 을 수행 할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 의 전체 내용은 클리어 뷰 창 (clear viewing window) 을 통해 사용 중인 동안 볼 수 있으며, 스크러버 도어 (scrubber door) 를 열지 않고도 스크러빙 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 스크러버에는 오류, 경고, 기계 상태 표시등을 표시하는 몇 가지 디스플레이 및 LED 표시등도 있습니다. 결국, DCS140 (DCS140) 은 반도체 생산 프로세스의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 안정적이고 효율적인 습식 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 사용하기가 쉽고, 크기가 작고, 공간이 제한된 시설에 이상적인 선택입니다.