판매용 중고 DISCO DCS 140 #9246368

DISCO DCS 140은 photoresist, etching 및 CMP와 같은 반도체 처리 응용 프로그램을 처리하도록 설계된 정교한 웨이퍼 마스크 스크러버입니다. 이 기계는 광범위한 동작 및 자동 스크러빙 기능을 갖추고 있으며, 리소그래피 레티클, 노출 마스크, 게이트 및 반사 방지 표면을 고정밀 클리닝할 수 있습니다. DISCO DCS140 (DISCO DCS140) 은 소재 낭비를 최소화하면서 철저한 청소를 실현하여 중요한 생산 프로세스의 비용 효율을 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. DCS 140은 3 축 동작 제어 장비로 구성되며 고정밀 DC 서보 모터로 구동되는 X-Y 트래버스 스테이지가 특징입니다. 이 소형 시스템은 응용 프로그램 및 기판 유형에 따라 패턴 스크러빙 (scrubbing) 및 영역 별 클리닝 (cleaning) 을 모두 허용합니다. 또한, 기계에는 선형 모터로 구동되는 z축 (Z축) 이 있으며, 고속 스캐닝 범위는 최대 200 ½ m입니다. 이러 한 중요 한 기능 을 통해 "스크러버 '는 매우 정확 한 여러 가지 복잡 한 청소 작업 을 수행 할 수 있다. 스크러버 (scrubber) 는 최대 180 rpm의 웨이퍼 스핀 속도를 가지며, 최소한의 오염으로 빠르고 철저한 웨이퍼 청소를 제공합니다. 또한, DCS140에는 부식과 오염을 방지하는 정수 장치가 장착되어 있습니다. "머신 '은 또한 여러 개 의 청소 경로 를 마련 할 수 있어서, 청소" 플루이드' 가 접근 하기 어려운 지역 에도 쉽게 도달 할 수 있다. 게다가, 기계에는 다국어 LCD 터치 스크린이 있는데, 이 LCD 터치 스크린은 사용자와 운영자에게 스크러버를 간단히 제어할 수 있도록 해 줍니다. 사용자에게 친숙한 이 인터페이스에는 실시간 데이터 모니터링 시스템 (data monitoring machine) 이 있어, 운영자가 클리닝 프로세스를 보다 쉽게 평가할 수 있습니다. 또한 스크러버 소프트웨어에는 데이터 저장 (data saving) 및 편집 (editing) 기능이 있어 필요에 따라 신속하게 청소 주기를 리콜하고 사용자 정의할 수 있습니다. DISCO DCS 140 (DISCO DCS 140) 은 매우 효율적이고 다재다능한 웨이퍼 마스크 스크러버로, 다양한 재료와 기판의 일관되고 정확한 청소를 제공합니다. 고정밀도 기능과 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 최신 반도체 생산 프로세스에 이상적인 선택이 됩니다.