판매용 중고 DISCO DCS 140 #9217393

DISCO DCS 140은 DISCO Corporation에서 개발 한 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. "디스코 DCS140" (DISCO DCS140) 은 "실리콘 웨이퍼 마스크 '를 문지르고 청소 하는 데 사용 되어 높은 수준의 생산 수율 을 유지 하고 반도체 산업 에 품질 을 향상 시켜 준다. DCS 140 은 완전 자동화 및 컴퓨터 제어 (computer-controlled) 작업을 활용하여 여러 칩을 동시에 정확하고 안정적으로 스크러빙할 수 있습니다. 이 장치는 슬롯 (slot) 모양의 홀더로 설계되어 최대 7개의 양면 (double-side) 웨이퍼를 장착하여 장치의 로봇 암을 통해 적재 및 언로드할 수 있습니다. 또한 적절한 클리닝 에이전트를 적용하여 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 를 배치하고 단일 웨이퍼를 청소하는 HeNe 레이저를 갖추고 있습니다. 처음 에, 장치 는 "웨이퍼 '를 청소 용액 에 넣은 다음, 용액 에서 제거 한다. 그 후 에는 초음파 장비 와 "브러쉬 '를 사용 하여" 칩' 을 문지르고, 이물질, 파편, 입자 를 지표 에서 제거 한다. 그런 다음, 이 흙 입자 들 은 청소 구역 에서 "사이폰 '처리 되어 수동" 브러쉬' 를 할 필요 가 없게 된다. DCS140 은 또한 고주파 음파를 사용하여 칩에서 먼지를 진동시키는 초음파 시스템 (ultrasonic system) 을 갖추고 있습니다. 이 장치 의 정확도 와 정확도 는 "스크러빙 '과정 을 훨씬 더 효율적 이고 정련 시키는 것 이다. DISCO DCS 140은 더 긴 펌프 수명, 무진동 클리닝 프로세스, 프레임 내 픽업 시간 (1 초) 등 감가 상각 및 다운타임을 줄이기 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 이 장치는 또한 1 미크론 필터 및 10 미크론 필터를 함유 한 워터 필터 머신 (water filter machine) 과 통합되어 0.2 미크론 미만의 입자를 필터링하여 청소를위한 순수한 물을 제공 할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 DI 물로 작동하도록 구성하여 여러 가지 클리닝 사이클 (cleaning cycle) 을 동시에 수행 할 수 있습니다. 전체적으로, DISCO DCS140 은 반도체 제작을 위한 마스크 및 웨이퍼 클리닝 작업에 효율적이고 고급 솔루션을 제공합니다. 정확하고 자동화된 운영 툴 (Operating Tool) 은 고품질 수율을 보장하며, 안정적이고 경제적인 클리닝 솔루션을 제공합니다.