판매용 중고 DISCO DCS 140 #9149451
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ID: 9149451
Wafer cleaning system
Workpiece size: Φ8"
Applicable tape frame size: 2~8"
Table roating speed: 0~3000 min-1[rpm]
Spinner discharge pressure: 2.0 - 12.0 (MPa)
Air: 0.5MPa 216L/min
N2: 0.5MPa 54L/min
Water: 0.1MPa 0.1L/min
Power: Single phase 100V, 1.5KVa.
DISCO DCS 140 (DISCO DCS 140) 은 다양한 기판에서 반도체 장치 연결, 마스크 및 웨이퍼를 자동으로 청소하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장치는 특히 초고밀도 기판 및 미세 피치 응용 프로그램에 적합합니다. 디스코 DCS140 (DISCO DCS140) 은 독특한 비 연마 스크러빙 시스템을 사용하여 기본 물질에 손상을 입히지 않고 다양한 기질에서 광저장제, 접착제, 산화물 등의 표면 잔기를 안전하게 청소하고 제거합니다. 스크러버에는 디스크 모양의 헤드가 장착되어 있으며, 분당 최대 40,000 회전 수 (RPM) 로 회전 할 수 있습니다. 이것은 표면 오염 물질을 효과적으로 제거하기위한 이상적인 스크러빙 힘을 만듭니다. DCS 140은 사용자 정의가 가능합니다. 스크러버 (scrubber) 는 스크러빙 속도 (scrubbing speed) 와 헤드 회전 수 (number of head revolution) 를 조정하여 뚜렷한 청소력과 속도로 쉽게 설정할 수 있습니다. 이렇게 하면 섬세한 기질의 과열 또는 연마 청소 위험이 줄어듭니다. 그 에 더하여, "스크러버 '를 특정 한 각도 에서 시작 하고 멈추도록" 프로그램' 할 수 있어서 청소 동력 을 정확 하게 제어 할 수 있다. DCS140 은 고급 스크러빙 (scrubbing) 기능 외에도 사용하기 쉬운 인터페이스와 내장형 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 따라서 정확하고 반복 가능한 클리닝 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한, 내장형 안전 (Safety) 기능은 장치를 안전하게 사용할 수 있도록 보장하며, 사용자는 안정적이고 안전한 스크러빙 시스템을 제공합니다. DISCO DCS 140 은 저렴한 가격의 고성능 스크러버로, 안정적이고 효과적인 청소 작업을 위해 제작되었습니다. 수율 을 최적화 하고, 각종 민감 한 기판 을 청소 하는 데 걸리는 시간 을 단축 하기 위해 설계 되었다. 또한, 이 모듈식 설계를 통해 사용자는 특정 요구 사항에 따라 장치를 빠르고, 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 결과적으로, DISCO DCS140 은 다양한 반도체 및 소비자 제품에 적합한 이상적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버가 될 수 있습니다.
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