판매용 중고 DISCO DCS 140 #9105893

DISCO DCS 140은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장비 는 "웨이퍼 '표면 에서 오염 물질 을 제거 하여, 집적회로 및 기타 부품 들 을 믿을 만한 생산 할 수 있도록 설계 되었다. 디스코 DCS140 (DISCO DCS140) 은 반도체 웨이퍼와 마스크에서 높은 수준의 청결 및 표면 마무리를 달성 할 수 있습니다. 기계는 통합 스크럽 브러쉬 시스템 (scrub brush system) 과 회전 웨이퍼 테이블이있는 스크러빙 챔버 (scrubbing chamber) 로 구성됩니다. 스크러빙 챔버에는 반도체 웨이퍼와 마스크가 있습니다. 통합 스크럽 브러쉬 (brush) 장치는 높이, 각도 및 속도의 의미에서 조정 가능한 두 개의 반회전 브러시로 구성됩니다. 이러한 설정을 통해 사용자는 시스템의 클리닝 매개 변수 (cleaning parameters) 를 조정하여 특정 요구 사항에 맞게 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한, 스크러빙 챔버에는 최적의 성능을 보장하기 위해 가스 배기 기계가 장착되어 있습니다. DCS 140은 사이클당 최대 450mm 직경의 최대 12 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 회전 웨이퍼 (rotating wafer) 테이블에는 조정 가능한 속도 설정이 있으며, 로드 및 언로드 작업을 위해 임의의 각도로 중지할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 기계 는 "티이저 '," 플라이어', 흡입 "컵 '등 여러 가지 취급 도구 를 사용 할 수 있다. 이를 통해 운영자는 손상 없이 스크러빙 챔버에서 웨이퍼를 안전하게 로드하고 언로드할 수 있습니다. DCS140에는 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 스크러빙 챔버 (scrubbing chamber) 근처에 위치한 플로우 미터 (flow meter) 를 사용하면 기계의 작동을 모니터링하고 공기 흐름 또는 기타 오작동에 대한 잠재적 문제를 감지 할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 기계의 작동을 즉시 중지하기 위한 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼이 장착되어 있습니다 (오작동 시). 에너지 소비량 측면에서 DISCO DCS 140은 효율성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 고온으로 인한 손상을 방지하기 위해 조절식 (Adjustable Stand By) 모드와 내장형 열 방지 (Thermal Protection) 툴이 장착되어 있습니다. 전반적으로, DISCO DCS140은 신뢰할 수 있고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 뛰어난 깨끗함과 표면 마무리를 달성 할 수 있습니다. 반도체 산업을 위한 이상적인 선택이 될 수 있는 "고급 기능 '과" 안전' 기능이다.