판매용 중고 DISCO DCS 140 #9069545

DISCO DCS 140은 DISCO Corporation의 최고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 고급 스크러버 (advanced scrubber) 는 효율적인 청소 공정으로 웨이퍼 및 마스크 처리 시간을 줄이고 청소 비용을 절감하도록 설계되었습니다. DISCO DCS140은 자동 속도 및 압력 제어가있는 고급 브러시리스 모터 구동 시스템을 사용합니다. 이것은 전체 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 표면 전체에 걸쳐 스크러빙 압력 (scrubbing pressure) 과 짝수 클리닝 시간을 균일하게 분포시킵니다. 또한 DCS 140 은 10,000 gf-cm 의 최대 스크러빙 (scrubbing) 힘을 통해 가장 까다로운 표면을 완벽하게 청소할 수 있습니다. DCS140 의 기본 부분은 커패시터 제어 바이브레이터 (vibrator) 기술로, 스크러빙 브러쉬를 자동으로 진동시켜 스크러빙 효율을 높입니다. 이 진동은 웨이퍼 & 마스크 표면 오염 물질 (wafer & mask surface contaminant) 의 표면 접착력을 감소시켜 쉽게 제거 할 수 있습니다. 또한 DISCO DCS 140은 2 ~ 6-의 웨이퍼 크기를 스크러빙 할 수 있습니다. 표준 브러쉬 구성은 웨이퍼 및 마스크 스크러빙과 특수 에치 (etch) 및 코팅 (coating) 과 같은 특수 응용 프로그램의 사용자 정의 구성에 사용할 수 있습니다. DISCO DCS140 (DISCO DCS140) 에는 그래픽 LCD 디스플레이가 장착된 강력한 컨트롤러가 장착되어 있어 각 웨이퍼 및 마스크 크기에 대한 클리닝 매개변수를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 추가적인 이점으로이 컨트롤러는 최대 99 개의 다른 청소 레시피를 저장합니다. 따라서 사용자가 이전 설정을 회수하고, 클리닝 프로세스를 최적화하는 것이 훨씬 쉬워집니다. 또한, 추가 프로그래밍 및 데이터 로깅 기능을 위해 컴퓨터 호환 RS-232C 및 이더넷 포트를 사용하여 외부 PC 또는 네트워크에 데이터를 전달할 수 있습니다. 성능은 DCS 140의 주요 장점 중 하나입니다. 다른 많은 스크러버와 달리, 이 모델은 모든 웨이퍼 및 마스크 크기에 대해 최적의 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 시속 500 웨이퍼 (wafer per hour hour) 까지 놀랍도록 빠른 클리닝 속도가 가능하여 생산 환경에 이상적입니다. 또한 DCS140에는 3 점 공기 슬릿 노즐 시스템이 내장되어 있어 더 높은 부피 및 기압 속도를 보장합니다. 이러 한 압력 은 "스크러빙 '과정 중 에 있을 수 있는 모든 공중 오염 을 쉽게 제거 할 수 있다. DISCO DCS 140은 웨이퍼 및 마스크 청소를위한 강력하고 안정적인 도구입니다. 첨단 기능 (advanced features) 과 필수 제어 옵션 (needed control options) 의 조합으로 많은 의무와 효율적인 청소가 필요한 사람들에게 적합한 선택입니다. 또한, 최대 99 가지 클리닝 레시피를 절약 할 수있는 능력은 운영 환경에 필수품입니다. "와퍼 '와" 마스크' 를 빠르고 효율적 으로 청소 해야 하는 사람 들 에게 있어서, "디스코 DCS140 '은 훌륭 한 선택 이다.