판매용 중고 DISCO DCS 140 #293671766

DISCO DCS 140 (DISCO DCS 140) 은 웨이퍼 및 마스크 스크러버로 반도체 장치의 효율성과 품질을 최적화하도록 설계되었습니다. 그것 은 기계적· 화학적 표면 정화 의 조합 을 사용 하여 우월 한 결과 를 거두며, 당면 과제 에 따라 압력 "제트 '혹은 공기 브러싱" 옵션' 을 제공 한다. 이 장치에는 7 인치 LCD 터치 패널과 PC 인터페이스가 있어 빠르고 쉽게 작동 할 수 있습니다. 2 개의 온보드 원심 팬 코터, 4 개의 정밀 중심 서브 스테이지 및 1 개의 화학 탱크가 장착되어 있습니다. 이를 통해 다양한 크기, 모양 및 두께의 여러 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 스크러버는 소크 린스, 재순환 린스, GFET 린스 및 콜드 에치 린스 (Cold Etch Rinse) 를 포함한 여러 가지 린스 기능을 제공합니다. 모두 기판 표면에서 입자, 잔류 물 및 오염 물질을 제거하도록 설계되었습니다. 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 이중 회전 브러시와 독특한 DI 물 링 시스템을 사용하여 마스크 표면에서 유기 및 무기 입자 오염을 제거합니다. "스크러버 '는 연속적 인" 웨이퍼' 와 "마스크 '청소 작업 을 하기 위해 설치 되어 가치 있는 생산 시간 을 절약 할 수 있다. 이 디바이스는 광범위한 프로세스 매개 변수 (process parameter) 를 제공하며, 이를 통해 사용자는 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 세밀하게 조정하고 성능을 최적화할 수 있습니다. 표면 분석 및 특성, 열 에칭, 무전기 도금, CVD/ALD 스퍼터 증착과 같은 광범위한 프로세스와 통합 될 수 있습니다. DISCO DCS140 (DISCO DCS140) 은 신뢰할 수 있고 효율적인 웨이퍼 & 마스크 스크러버로, 연구에서 대용량 생산에 이르기까지 다양한 반도체 프로세스에 적합합니다. 쉽게 작동하고 사용할 수 있도록 설계되어 있어 품질이 우수합니다 (영문).