판매용 중고 DISCO DCS 140 #293609658

DISCO DCS 140
ID: 293609658
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 140 (DISCO DCS 140) 은 고압 물과 청소 용액을 사용하여 웨이퍼와 마스크를 청소하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 그 장비 는 연속적 인 물결 을 이용 하여 흙, 파편, 기타 오염 물질 들 을 제거 하고 "플러시 '를 한다. DISCO DCS140은 뛰어난 정확성과 반복 기능으로 웨이퍼와 마스크를 청소할 수 있습니다. DCS 140에는 최대 2800 리터 (LPM) 의 수분을 균일 하게 제공 할 수있는 고압 제어 시스템 및 터보 펌프가 장착되어 있습니다. 이러 한 우수 한 물 의 흐름 속도 는 오염 물질 을 신속 히, 쉽게 "웨이퍼 '를 빼내고" 마스크' 를 단 몇 분 만에 완전 히 깨끗 하게 할 수 있다. 이 장치는 자동화되었으며, 업계의 표준 청결 요구 사항을 충족시키기 위해 특별히 프로그래밍 될 수 있습니다. 그 기계 는 "웨이퍼 '의 크기 와 모양 을 탐지 할 수 있을 뿐 아니라, 존재 할 수 있는 흙 과" 파편' 을 탐지 할 수 있다. 그것 은 각 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 청소 하는 각 "웨이퍼 '와" 마스크' 에 여러 가지 압력 과 물 흐름 속도 의 조합 을 적용 할 수 있다. DCS140 은 우수한 클리닝 결과를 얻기 위해 "역삼투법 (reverse osmosis water purification) 도구 '를 내장하여 청소 프로세스의 효율성을 극대화하고 최고 수준의 청결 기준을 충족하도록 설계했습니다. 이 여과 자산에는 여과 격자 (filtration grid) 와 막 (membranes) 이 장착되어 있습니다. 물의 모든 외국 입자를 필터링하여 웨이퍼와 마스크의 청결을 방해 할 수 있습니다. 또한 DISCO DCS 140 에는 오토 조정 (auto-adjustment) 기술이 탑재되어 있어 먼지나 오염 물질 수준의 증분 변화를 감지하고, 클리닝 프로세스를 적절히 조정하여 지속적으로 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 컴퓨터 모델에 연결하여 연구/녹화를 위해 손쉽고 편리하게 데이터를 액세스할 수 있습니다 (영문). 이 장비는 또한 고급 안전 장치 (Advanced Safety Capability) 를 갖추고 있으며, 운영자는 버튼 누름 (Push of a Button) 을 통해 완전 자동 청소 시스템을 사용할 수 있으므로 안전하고 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. 그 에 더하여, 장비 의 모든 구성 요소 는 적절 하고 안전 하게 보호 (Security Protection) 되므로, 어떤 산업 환경 에서도 안전 하게 사용 할 수 있다. 전체적으로, DISCO DCS140은 뛰어난 청소 결과, 일관된 결과, 안전한 작동을 제공하도록 설계된 고급적이고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러빙 장치입니다.
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