판매용 중고 DAS V01.0082 #293627092

DAS V01.0082 는 반도체 제작의 생산 과정에 도움이 되도록 설계된 wafer 및 mask 스크러버입니다. 한 번에 최대 4 개의 8 인치 웨이퍼와 1 개의 5 인치 마스크를 처리 할 수있는 자동 시스템입니다. "스크러버 '는" 알루미늄' 과 "스테인레스 '강 으로 만들어져 있으며 특이 한 곡선" 디자인' 으로 부드럽고 균일 한 청소 과정 을 만들어 낸다. 스크러버는 최대 4 개의 8 인치 웨이퍼와 1 개의 5 인치 마스크를 수용하도록 설계된 조직 트레이로 설계되었습니다. 검사 및 검사가없는 작동을 위해 조정 가능한 두 개의 조명이 있습니다. 또한 두 개의 서로 다른 제어판이 있습니다. 하나는 웨이퍼 프로세싱이고 다른 하나는 마스크 프로세싱입니다. 또한, 스크러버는 화학 제거, 광택 제거, 퇴화, 일반 청소와 같은 과정을 허용합니다. 스크러버 (scrubber) 는 스크러빙 과정에서 사용되는 물을 지속적으로 대체하는 데 사용되는 자체 워터 펌프 (water-pump) 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 스크러빙 (scrubbing) 과정 중 웨이퍼 (wafer) 나 마스크에서 실수로 분리되는 입자를 제거하는 데 사용되는 2 단계 여과 시스템을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 모든 오염 물질이 제대로 제거됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 후면 패널에 위치한 유연한 스프레이 패턴 조정 노브 (flexible spray-pattern adjustment knob) 를 특징으로하며, 처리 중인 재료에 따라 스크러빙 암의 스프레이 패턴을 사용자 정의할 수 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 긁는 일 에 있어서 특히 유용 한데, 이것 은 표면 조성 이 다를 수 있다. 스크러버는 몇 가지 안전 기능으로 설계되었습니다. 예를 들어, 스크러버에는 과열 (overheating) 이나 과열 (excessive vibration) 과 같은 이상이 발생할 경우 스크러버를 자동으로 종료하는 안전 스위치가 장착되어 있습니다. 스크러버 (Scrubber) 는 뒷면 패널에 비상스톱 (Emergency Stop) 버튼이 있는데, 이 단추는 전원을 중단하고 사고가 발생할 경우 안전한 종료를 허용합니다. DAS V01.0082 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 안정적이고 효율적인 툴로서, 반도체 제작에 적합합니다. 여러 개 의 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 한꺼번에 처리 할 수 있을 뿐 아니라 각기 다른 재료 에 대해 사용자 정의 할 수 있는 "스프레이 '율 을 제공 할 수 있다. 또한, 이 장치에는 운영자 (operator) 와 처리 중인 컴포넌트의 안전을 보장하기 위해 몇 가지 안전 (safety) 기능이 장착되어 있습니다.