판매용 중고 DAS ESCAPE #9300744

DAS ESCAPE (DAS ESCAPE) 는 반도체 제조에서 가장 높은 수준의 깨끗함을 유지하기 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 특히 에치 후 및 포토 esist 습식 청소 프로세스에 적합합니다. ESCAPE 는 인체 공학적 설계를 통해 기존 운영 라인에 통합할 수 있습니다. "스크러버 '는 여러 가지 청소 작업 에 맞게 조정 할 수 있는 활기 가 넘치는" 스크럽 브러쉬' 를 갖추고 있다. 웨이퍼는 카세트, 카세트 랙 (cassette rack) 또는 수동으로 세 가지 방법 중 하나로 스크러버에 적재 할 수 있습니다. 두 개의 브러쉬가 앞뒤 방향으로 독립적으로 회전하기 시작하면 2 단계 배치 클리닝 사이클이 시작됩니다. 이것 은 "웨이퍼 '에 적용 되는 회전적 인 영향 을 야기 하여, 흙 과 찌꺼기 를 제거 하는 데 이상적 인 높은" 스크러빙' 력 을 발생 시킨다. DAS ESCAPE (DAS ESCAPE) 는 프로그래밍 가능한 브러쉬 회전 매개변수와 클리닝 매개변수의 판독값과 프로세스 경보 종료 (End-of-Process Alarm) 를 제공하는 프로세스 컨트롤러를 통해 완전히 자동화되었습니다. "웨이퍼 '" 카세트' 는 적당 한 위치 를 정리 하기 위하여 자동적 으로 색인 되고 "스크러버 '는 한 번 에 최대 100 개 의" 웨이퍼' 를 청소 할 수 있다. 또한, 스크러버 (scrubber) 에는 프로세스 중에 부품을 쉽게 모니터링할 수 있는 큰 창이 있습니다. 스크러버에는 불균형 하중 탐지기 (unbalanced load detector), 스플래시백 방지를위한 스플래시 가드 (splash guard), 청소 과정에서 회전하는 브러쉬에 대한 액세스를 방지하는 챔버 도어 인터록 (chamber door interlock) 과 같은 안전 기능이 장착되어 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 다양한 표준 필터에 의존하고 공기를 제거하여 청소 공정에서 입자를 효과적으로 함정 (trap) 하고 스크러버의 깨끗한 공기를 보장합니다. 도피 (ESCAPE) 는 유지 관리하기 쉽고, 스크럽 브러쉬 및 필터를 정기적으로 교체해야합니다. "스크럽 '" 브러쉬' 는 여러 가지 청소 주기 를 거치도록 설계 되었으며, "필터 '는 오염 이 있을 때 쉽게 대치 하도록 설계 되었다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 빠른 램프 업을 지원하여 클리닝 주기 사이의 다운타임을 줄이고, 최고 수준의 청결 (cleanliness) 을 충족하도록 설계되었습니다.