판매용 중고 DAITRON IM15 #9383799

DAITRON IM15는 가장 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버 중 하나입니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 반도체 장치 제조에 사용되는 반도체 마스크와 웨이퍼를 청소하고 다시 사용하도록 특별히 설계되었습니다. 높은 정밀도를 제공하며, 최고의 품질과 성능을 제공합니다. 이 스크러버는 대용량 생산 환경에서 생산성을 높이기 위해 설계되었습니다. 자동 프로세스 제어 장비 (Automated Process Control) 장비와 센서 제어 기능을 통해 Wafer/Mask 스크러빙 프로세스에서 정확한 피드백을 제공하여 품질 제어를 향상시킬 수 있습니다. 스크러버에는 특허를받은 마이크로 파이버 필터 (Micro-Fiber Filter) 가 장착되어 있으며, 원래 표면 프로파일을 유지하면서 웨이퍼에서 궁극적 인 입자 및 증착을 제거 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 전례없는 수의 스크러빙 매개변수 (scrubbing parameters) 를 특징으로하며, 이를 조정하여 스크러빙 중인 특정 기판에 대한 원하는 클리닝 및 스크러빙 효과를 달성할 수 있습니다. 자동 프로세스 제어 외에도 IM15 스크러버는 통합 스마트 MEMS (Micro-Electro Mechanical Unit) 및 기타 고급 모니터링 및 청소 기술을 갖추고 있습니다. 이러한 기술은 스크러빙 프로세스의 정확성과 효율성을 높이는 데 도움이됩니다. 스크러버 (scrubber) 에는 스크러빙 작업 전반에 걸쳐 일관성을 유지하기 위해 광학 현미경과 레시피 라이브러리가 포함되어 있습니다. 스크러버 작동은 간단하고 간단합니다. 10 개의 사전 설정된 레시피 라이브러리와 구성 가능한 GUI 인터페이스가 있는 단일 LCD 터치스크린 제어판을 통해 작동합니다. 또한, 특정 스크러빙 요구 사항에 맞게 조정 할 수있는 광범위한 프로세스 제어 (process control) 매개변수가 제공됩니다. 전반적으로 DAITRON IM15 스크러버는 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 뛰어난 클리닝 범위, 모니터링 및 자동화 기능을 제공합니다. 반도체 제조 환경에서 생산성을 높이고, 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 품질과 성능을 극대화하는 이상적인 시스템입니다.