판매용 중고 DAITRON DSC-100CV #9294598

DAITRON DSC-100CV는 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 안정성이 뛰어난 정밀 웨이퍼/마스크 (wafer/mask) 청소 장비로, 최고 수준의 표면 청소 품질 성능을 제공합니다. 스크러버는 로봇 화 된 습식 (robotized wet) 및 건식 (dry cleaning) 의 조합을 사용하여 직사각형 및 사각형 웨이퍼 및 마스크 표면의 고효율, 정확하고 고성능 클리닝을 사용합니다. 스크러버 (scrubber) 는 A/D 컨버터 플랫폼과 함께 등록 된 적분 동작 알고리즘을 사용하여 시스템을 강력하고 안정적으로 만듭니다. 웨이퍼 청소 헤드에는 조정 가능한 회전 브러시 헤드 4 개와 조정 가능한 스윙 브러쉬 헤드 2 개, 수직 움직이는 브러쉬 헤드 2 개가 있습니다. 스크러버에는 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 처리하기위한 고성능, 공압 그리퍼 장치도 있습니다. 또한, 스크러버 (scrubber) 에는 양면, 신뢰성 높은 자기 디스크가 포함되어 있으며, 웨이퍼 및 마스크 양쪽에서 미립자를 제거하는 데 사용됩니다. 자기 (magnetic) 디스크는 고속 스테핑 모터로 구동되며, 이를 통해 클리닝 성능의 속도와 강도를 제어할 수 있습니다. 스크러버에는 E-스톱 (E-stop) 버튼, 압력 및 온도 센서, 안전 연동 장치 등 안전하고 안정적인 작동을 보장하기 위한 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한 통합 시각적 (visual) 및 음성 경보기 (audio alarm) 와 잠재적 문제의 운영자에게 경고하기위한 방향성 경전기 (directional light machine) 도 포함됩니다. 또한 스크러버 (scrubber) 는 사용자에게 친숙한 직관적인 인터페이스를 제공하여 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 클리닝 (mask cleaning) 을 쉽게 작동하고 조정할 수 있습니다. 또한 내장형 통신 인터페이스를 통해 외부 컴퓨터에 연결하여 데이터 로깅 및 모니터링을 수행할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 최소한의 유지 보수 작업만 필요하며 작동이 효율적이고 안정적입니다. 요약하자면, DSC-100CV 는 신뢰성이 높고, 정밀 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 반도체 업계에서 최고 수준의 클리닝 성능을 제공합니다. 다양한 안전 (Safety) 기능과 손쉬운 운영 및 구성을 위한 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 직관적이고 효율적으로 설계되었습니다.