판매용 중고 DAITRON DSC-100CV #9294594
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DAITRON DSC-100CV 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 최소 프로세스 시간과 함께 최적의 청소 결과를 제공하도록 설계된 소형 자동 청소 장비입니다. 그것 은 작은 반도체 "칩 '에서부터 크고 평평 한 태양 전지 에 이르기 까지 다양 한" 웨이퍼' 와 "마스크 '를 처리 하도록 설계 되었다. "스크러버 '는" 프로그램' 할 수 있는 청소 속도, 조절 할 수 있는 스크러빙 각도, 강력 한 진공 "모터 '로" 웨이퍼' 와 "마스크 '에서 입자 와 오염 물질 을 안전 하고 신속 히 제거 한다. DSC-100CV 의 독보적인 3축 설계는 효과적이고 안정적인 클리닝 성능을 보장합니다. 즉, x 축과 y 축 모두에서 웨이퍼나 마스크를 회전시키고, Z축에서는 앞쪽에서 뒤쪽으로 동시에 이동합니다. 이 운동 은 중앙 에서 죽은 반점 을 제거 하여 "웨이퍼 '나" 마스크' 의 표면 전체 를 긁는다. 또한 "스크러버 '에 전극 청소" 시스템' 을 투입 하여 입자 가 표면 에 고착 하도록 하는 전기 전하 를 조절 한다. DAITRON DSC-100CV에는 스크러빙 (scrubbing) 과정에서 웨이퍼 또는 마스크를 소화시키는 컴팩트하고 고효율 가스 전달 장치가 장착되어 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 공기 커튼과 내장 필터 머신에 의해 먼지 및 기타 오염 물질로부터 보호됩니다. 또한 풀 컬러 LCD 터치 패널이 내장된 직관적인 인터페이스를 통해 조작과 프로그래밍이 간편합니다 (영문). 또한 스크럽 수, 회전 속도, 공기 흐름 속도 (air flow rate) 를 조정하여 클리닝 프로세스를 자유롭게 사용자 정의할 수 있습니다. DSC-100CV는 웨이퍼 및 마스크의 산업 청소에 이상적인 솔루션입니다. 다용도가 높으며 다양한 토폴로지, 기판 유형, 클리닝 속도를 수용할 수 있습니다. 또한 뛰어난 입자 제거와 고도의 표면 품질을 제공합니다. 간편한 운영 및 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 프로세스 효율성을 높이고 어셈블리 라인의 비용을 절감할 수 있는 매우 유용한 툴입니다.
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