판매용 중고 DAITRON ARIS LCD 100 #9285702

DAITRON ARIS LCD 100은 울트라 클린 룸 응용 프로그램을 위해 설계된 올인원 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 완전히 밀폐된 에어타이트 강철 캐비닛으로 구성되어 스크러빙 중 최소 환경 오염을 보장합니다. 스크러버는 브러시 알루미늄으로 만들어진 외부 캐비닛이있는 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 로 구성됩니다. DAITRON ARIS-LCD100에는 1 차 및 2 차 단계의 두 가지 스크러빙 단계가 있습니다. 1 단계에서는 UCS (Ultrasonic Clean Equipment) 와 표면 스크럽 시스템을 결합한 프로세스를 사용하여 웨이퍼를 정제합니다. UCS는 웨이퍼 깊숙이 침투하는 고주파, 고압의 초음파 (ultrasonic wave) 를 적용하여 유기 및 미네랄 오염 물질을 효과적으로 제거 할 수 있습니다. 표면 스크럽 장치 (surface scrub unit) 는 더 나은 마무리를 위해 웨이퍼 표면을 활발하게 긁는 4 개의 회전 브러시로 웨이퍼를 더 연마합니다. 2 단계는 철저한 마스크 청소에 집중합니다. 이 단계 에서, 자동화 된 "로봇 '암 은 정확 하게 설계 된" 노즐' 앞 의 각 "마스크 '의 정확 한 위치 를 유지 하는 데 도움 이 되며, 고압" 스팀' 의 표적 분사 가 "마스크 '표면 에서 모든 미립자 물질 을 완전 히 제거 하도록 한다. 청소 장치 는 또한 크기 가 다른 "웨이퍼 '를 효율적 으로 청소 할 수 있는 자동" 웨이퍼' 조정 장치 를 갖추고 있다. ARIS LCD 100은 또한 사용자에게 친숙한 터치 스크린 인터페이스를 제공하는 PLC 제어 도구 (PLC Control Tool) 를 제공하여 웨이퍼 클리닝 프로세스를 쉽고 정확하게 제어할 수 있습니다. PLC 제어 에셋은 또한 클리닝 챔버 (cleaning chamber) 내에서 정확한 온도 및 습도 제어를 제공하여 웨이퍼 서피스 및 마스크에 대한 정확한 클리닝 매개변수가 항상 유지됩니다. ARIS-LCD100은 탁월한 성능과 탁월한 클리닝 기능으로 인해 초청소 (ultra cleanroom) 어플리케이션에 적합합니다. 그것 은 품질, 정확도, 청소 속도 를 손상 시키지 않고 "웨이퍼 '와" 마스크' 로부터 완전 한 오염 을 제거 한다.