판매용 중고 CSK HEATS-05 #9278131

CSK HEATS-05는 포토 리토 그래피, 에칭 및 증착을 포함하여 반도체 제조에 일반적으로 사용되는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 "스크러버 '는" 칩' 제조 에 사용 되는 가공 장비 를 세척 하고 청소 하도록 설계 되었다. 화학 물질, 물, 스크럽 재료의 최소한의 소비로 고효율 청소를 약속하는 전기 분해 청소 기술을 갖춘 재순환 유동 가능한 침대 스크러버 (browable bed scrubber) 입니다. 밀봉된 챔버에서 수행되는이 공정은 유기 오염 물질, 먼지 입자, 슬래그 (slag) 및 기타 생산 주택 잔류 물을 제거 할 수 있습니다. "클리닝 챔버 '는 세 가지 부면 으로 구분 된다. 첫 번째 부면 은" 웨이퍼', "마스크 '또는 기타 재료 를 청소 하기 위한 것 이다. 두 번째 영역은 소재를 청소하는 것입니다. 세 번째는 프로세스 매체 (일반적으로 탈이온화 된 물 솔루션) 가 저장 및 재활용 된 탱크 및 필터 유닛에 대한 것입니다. 이 옵션에 사용 된 클리닝 제는 보로 하이드라이드 나트륨 (sodium borohydride) 과 계면 활성제 (surfactant) 의 혼합물로, 기질 표면에 부착 된 입자 또는 먼지를 분해하고 느슨하게한다. 청소 용액은 브러시 롤러 스크러버 (brush-roller scrubber) 를 통해 순환하며 기판은 일정 시간 동안 노출되어 완전한 표면 청소를 보장하며, 공기의 온도는 최대 80 센티그레이드에 이릅니다. 청소 과정 이 끝나면, 기질 을 "린스 '하고 말린다. HEATS-05 (HEATS-05) 는 과중한 24 시간 청소 프로세스를 위해 설계되었으며, 높은 생산 용량 칩 제조에 적합합니다. 고속, 효율성, 저소음 및 진동 수준이 특징입니다. 스크러버에는 임베디드 (embedded) 제어 시스템이 장착되어 있어 스크러빙 및 세척 프로세스를 자동화할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 장비 는 "센서 '와 전용제어" 소프트웨어' 에 의해 감시 되는, 청소 "에이전트 '의 시간, 동요 수준, 온도 및 농도 와 같은" 파라미터' 를 감시 할 수 있다. CSK HEATS-05 의 전반적인 설계는 안정적이고 견고하며, 견고하며, 생산이 가혹한 상황에서도 일관되고 효율적인 운영에 중점을 둡니다. 이 장치는 사용자 친화적이며 사용자 조정이 용이하며, 손쉽게 클리닝 머신 (cleaning machine) 을 최적화하고, 유연성을 높이고, 클리닝 프로세스를 보다 효율적으로 제어할 수 있습니다. 이 도구에는 안전한 작동을 보장하기 위해 none-non-stop 청소 안전 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로, HEATS-05는 반도체 칩 생산에 필요한 광범위한 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 클리닝 요구사항에 대해 매우 효율적이고, 안전하며, 신뢰할 수 있는 클리닝 자산을 제공하며, 높은 수준의 안정성, 일관성, 비용 효율성을 제공합니다.