판매용 중고 CSK HEATS-05 #293647981

CSK HEATS-05는 반도체 장치 청소를 위해 설계된 고효율 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버 장비입니다. 이 시스템은 반도체 장치 제조에 사용되는 CSK Heats 시리즈 스크러버의 일부입니다. 이 장치는 이온화 된 공기를 사용하여 웨이퍼와 마스크에서 오염 물질을 제거하는 저진공 청소 프로세스를 사용합니다. 이 과정 을 통해 입자 를 20 "미터 '아래 까지 제거 할 수 있으며, 이것 은 장치 의 표면 에서 입자 를 제거 하는 데 효과적 이다. 이 프로세스는 또한 치료 및 리소그래피 전에 거친 표면 또는 긁힌 표면을 우월하게 청소합니다. 기계는 플래튼, 진공실, 전원 공급 장치의 3 가지 주요 부분으로 구성됩니다. 플래튼은 방사 알루미늄 작업 표면 (radiation-proof aluminum work surface) 으로 내장 히터에 의해 원하는 온도로 가열됩니다. 진공실 은 "사이클 '로 공기 를 유입 시키도록 설계 되었으며, 전원 공급 장치 는" 에셋' 을 전기 로 공급 한다. 플래튼은 웨이퍼 또는 마스크 표면 위로 움직이는 2 개의 웨이퍼 패드와 4 개의 스크러빙 헤드가 장착되어 있습니다. 효과적인 청소를 위해 플래튼을 최대 온도 200 ° C로 가열 할 수 있습니다. 그 다음 에 "와퍼 '를" 이온' 화 된 공기 로 처리 한 후 에 "플래튼 '위 에 놓아 건조 시키고 치료 혹은 석판 촬영 을 위해" UV' 나 "레이저 '로 처리 한다. 이 모델은 웨이퍼 또는 마스크를 최대 8 "x 10" 크기 (최대 주기 시간 60 초) 까지 처리 할 수 있습니다. HEATS-05 (HEATS-05) 는 작동하기 쉽고 안전한 웨이퍼 및 마스크 청소 기능을 제공하는 일관성 있고 안정적인 청소 프로세스를 제공합니다. 이 장비는 다양한 장치 제조 공정과 호환되므로, 모든 반도체 (semiconductor) 장치 제조업체에 적합한 제품입니다.