판매용 중고 CS ENG CTS 5500 #9373016

CS ENG CTS 5500은 반도체 생산 공정에 사용되는 패턴화 된 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 자동화하고 개선하기 위해 설계된 웨이퍼 & 마스크 스크러버 장비입니다. 이 시스템은 다양한 기판 재료 및 모양 (예: 원형, 직사각형, 비대칭 웨이퍼, 직사각형, 다리미) 을 청소할 수 있습니다. CTS 5500 장치는 더 큰 웨이퍼를 위해 한쪽에 고속, 고효율 스크러버 (scrubber), 더 작은 웨이퍼를 위해 반대쪽에 느리게, 더 강력한 스크러버 (scrubber) 를 갖춘 듀얼 스크러버 구성을 사용합니다. 이 듀얼 사이드 스크러빙 (dual-side scrubbing) 프로세스를 통해 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 영역의 전체 스크러빙 커버리지를 개선하고 패턴화 된 피쳐에 대한 손상 위험을 줄일 수 있습니다. CS ENG CTS 5500에는 고도의 기술, 직관적 인 프로그래밍을 사용하는 Surface Plate Detection 머신이 장착되어 있으며, 이를 통해 스크러버가 웨이퍼 및 마스크의 서브 미크론 입자를 감지하고 표적화 할 수 있습니다. 이 고급 도구 (advanced tool) 는 인간 개입을 최소화하면서 웨이퍼 및 마스크 표면을 완벽하게 청소합니다. 또한 CTS 5500에는 내장, 사운드 최적화 진공 자산 및 스크러빙 마찰로 인해 웨이퍼 및 마스크가 과열되지 않도록 보호하는 통합 쿨 제트 시폰 (Cool Jet Siphon) 이 포함되어 있습니다. CS ENG CTS 5500 모델은 사용자 친화적이고 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 갖춘 완전 통합 프로세스 제어 장비를 제공합니다. 이 GUI를 사용하면 스크러버 매개변수를 쉽게 구성하고, 스크러빙 성능을 모니터링하며, 전체 웨이퍼/마스크 클리닝/건조 프로세스를 쉽게 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 필요에 따라 사용 및 수정 가능한 몇 가지 표준 레시피 (레시피) 로 프로그래밍됩니다. CTS 5500은 견고하고, 안정적이며, 효율적인 스크러버 장치로서, 웨이퍼와 마스크 모두에 총 스크러빙 솔루션을 제공합니다. 다양한 기판 모양과 크기를 청소하는 기능이 있으며, 고급 스크러빙 (scrubbing) 기술을 통해 각 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 표면을 완벽하고 일관성 있고 효과적으로 청소할 수 있습니다. CS ENG CTS 5500 툴은 사용자 친화적인 GUI 및 통합 프로세스 제어 시스템을 통해, 시간과 에너지 비용을 최소화하면서, 클리닝 결과를 향상시키는 데 이상적인 솔루션입니다.