판매용 중고 CS ENG CTS 5000 #9373015

CS ENG CTS 5000 은 반도체 부품의 생산에서 가장 높은 수준의 정확성과 효율성을 제공하도록 설계된 wafer 및 mask 스크러버입니다. "와퍼 '와" 마스크' 를 청소 하기 전 에 안정적 이고 경제적 인 방법 을 제공 하도록 설계 되었다. CTS 5000은 생산성을 극대화하기 위해 인라인 시스템에 사용됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 크기가 다른 단일 웨이퍼와 다중 컴포넌트 웨이퍼를 모두 청소할 수있는 완전 자동화 시스템입니다. 사용 된 고급 스크러빙 (scrubbing) 방법 은 "웨이퍼 '에서 오염 물질 을 제거 할 뿐 아니라 그 들 에게 아무런 손상 도 입힐 수 없도록 한다. 스크러버 (scrubber) 는 연속 스트림의 DI 워터를 사용하여 웨이퍼를 청소하고 프로세스는 통합 클리닝 소프트웨어 (Integrated Cleaning Software) 를 통해 품질에 맞게 자동으로 모니터링됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 습식 벤치, 에처, 스피너 및 본더 (bonder) 와 같은 다른 처리 도구와 통합되어 최고 수준의 프로세스 제어를 보장 할 수 있습니다. CS ENG CTS 5000에는 DI 물 용 4 개의 청소 탱크, 스크러빙 스크러버, 스크러빙 요리 및 린스 요리가 있습니다. 스크러버 접시 (scrubber dish) 에는 다공성 스크러빙 패드 (scrubbing pad) 가 포함되어 있으며, 스크러빙 공정을 최적화하기 위해 다른 수준의 스크러빙 압력으로 설정할 수 있습니다. "웨이퍼 '와" 마스크' 는 스크러빙 '접시 안 에 있는 회전 "홀더' 에 장착 되어 가변 속도 로 회전 한다. "와퍼 '와" 마스크' 의 표면 위 에서 한 손 에 쥐고 있는 문지른 "브러쉬 '가 끊임없이 움직 여 오염 을 제거 한다. 그런 다음 DI 물 용액을 4 개의 탱크 각각에 보충하여 철저한 청소를 보장합니다. CTS 5000 은 또한 다양한 화학 물질, 다양한 스크러빙 패드 (scrubbing pad) 및 브러쉬 (brushe) 를 사용하여 최적의 청소 결과를 얻을 수 있는 유연성을 제공합니다. 이러한 유연성을 통해 특정 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있도록 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. CS ENG CTS 5000 이 최고 수준의 성능으로 실행되도록 시스템을 다른 모니터링/제어 시스템과 연결할 수도 있습니다. 전반적으로, CTS 5000은 반도체 구성 요소 제작 프로세스에서 최고 수준의 정밀성과 효율성을 제공하는 고가용성 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 입니다. 첨단 기술 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 어떤 식 으로든 손상 시키지 않고 철저 히 청소 하는 반면, "브러쉬 '와 가변" 스크러빙' 압력 설정 은 청소 과정 을 최대화 시킨다. 다양한 화학 물질과 브러시를 사용하는 유연성은 기능을 더욱 향상시켜 CS ENG CTS 5000을 고성능 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 청소 요구 사항에 이상적인 솔루션으로 만들었습니다.