판매용 중고 CONVAC DSS 200 #9053125

CONVAC DSS 200은 반도체 장치 제조 시설에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 일반적으로 클린 룸 (Clean Room) 입구 또는 클린 룸 (Clean Room) 바로 앞에 배치되는 자체 포함 장치입니다. DSS 200은 클린 룸 입구 전에 웨이퍼와 마스크 (스텐실, 필름, 프레임, 디스크 및 스트립) 를 효과적으로 청소하는 이중 단계 스크러빙 프로세스를 사용합니다. 스크러빙 (scrubbing) 공정의 첫 번째 단계는 이동식 서랍에 저장된 장치에 적재 된 화학 정제를 사용합니다. 화학 정제 는 내부 "챔버 '로 서서히 방출 되는데, 그 로 인하여 내부 의 성분 에" 시뮬레이션' 된 비샤워 가 일어난다. 이 "샤워 '는 먼지, 흙, 기타 오염 물질 들 을" 웨이퍼' 나 "마스크 '에서 제거 하여 청정실 환경 내 에 오염 을 일으킬 수 있다. 스크러빙 프로세스의 두 번째 단계는 이중 측면 스크러빙 블록을 사용합니다. 이 "블록 '은 특수 한 청소 화합물 로 처리 되는데, 이 화합물 을 사용 하여 오염 물질 이나 잔류 물질 을 쉽게 제거 할 수 있으며, 그 물질 은 제 1 단계 의 화학" 마이스터' 에서 제거 되지 않았다. "블록 '은" 웨이퍼' 나 "마스크 '위 로 회전 하고 공기" 제트' 는 진공 을 만들어 파편 을 표면 에서 들어 올려 수집 "빈 '에 들어가게 한다. 스크러빙 주기가 완료되면 CONVAC DSS 200 (CONVAC DSS 200) 이 비활성화되고 문이 열리면서 청소된 컴포넌트를 읽어들일 수 있습니다. 그런 다음, 장치 를 비우고, 다음 "클리닝 '주기 에 사용 하기 위해 건조 할 수 있다. DSS 200 은 반도체 장치 제작 시설에서 클린 룸 (clean room) 환경을 개선하기 위한 안정적이고 효율적이며 비용 효율적인 방법입니다. 또한 CONVAC DSS 200 은 우수한 클리닝 기능과 더불어, 추가 청소 및 유지 보수 작업에 소요되는 시간을 줄여 비용을 절감합니다.