판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload TM #9401143

브룩스 오토메이션 픽스로드 (BROOKS AUTOMATION Fixload) TM은 반도체 웨이퍼 및 마스크의 물리적 결함 문제를 해결하여 칩 제조업체의 생산량이 향상되도록 설계된 웨이퍼 & 마스크 스크러버입니다. 이 혁신적이고 비용 효율적인 스크러버 (scrubber) 는 다양한 기능과 기능을 제공하여 더 효율적인 클리닝을 가능하게 하며, 웨이퍼와 마스크를 오염시키지 않도록 합니다. 기계는 오버 헤드, 구불 구불 한 로터리가있는 스크러빙 데크로 구성됩니다. 갑판 은 기판 "홀더 '역할 을 하며 회차 는 청소 와 건조 를 위한 차량 이다. 이 유용한 기능은 기판 오염을 일으킬 수 있는 접점 (contact point) 의 양을 줄이는 데 도움이 되며, 이로 인해 클리닝 시간이 길어집니다. 주 스크러빙 (scrubbing) 모듈에는 2 개의 독립적 인 스크러빙 존 (scrubbing zone) 이 있으며, 기판 표면의 양쪽에서 물리적 결함을 동시에 제거하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 표면 특성이 균일해지고 웨이퍼 (wafer) 나 마스크 (mask) 에 오염 물질이 쌓일 수 있는 것을 제거할 수 있습니다. 픽스로드 (Fixload) 장비는 기판을 지향하고 목표 표면에 조절 할 수있는 강력한 난류 공기의 강력한 제트를 사용합니다. 스크러빙 프로세스는 균일 하고 제어 된 스크러빙을 허용하는 인라인 입자 검출 시스템으로 지원된다. 이 장치는 강력한 레이저 (Laser) 와 카메라 머신 (Camera Machine) 을 통합하여 결함을 스캔, 분석하여 제조업체에 스크러빙 프로세스의 상태에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 픽스로드 (Fixload) 는 완전하게 자동화된 웨이퍼 및 마스크 클리닝 프로세스를 제공하여 최고 수준의 깨끗함과 정확성을 보장합니다. 이 기계는 쌓인 다이 (die) 에서 얇은 필름 (thin film), 다중 레벨 FEOL 및 BEOL에 이르기까지 다양한 유형의 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 탁월한 성능과 정확도로 100mm 및 200mm 웨이퍼를 청소할 수 있습니다. 결론적으로, Fixload TM 은 강력하고 자동화된 wafer & mask 스크러버로, 반도체 wafer 및 mask 의 물리적 결함을 제거하기 위한 포괄적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 제품은 우수한 성능, 정확성, 프로세스 제어를 제공하며, 더 깨끗한 기판을 보장하기 위한 완전 자동 클리닝 프로세스를 제공합니다. 브룩스 오토메이션 픽스로드 (BROOKS AUTOMATION Fixload) TM은 다양한 웨이퍼와 마스크를 처리 할 수있는 능력으로, 순응하지 않는 제품을 줄이고 수익을 개선하려는 칩 제조업체에 귀중한 도구입니다.