판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Fixload TM #9401141

BROOKS AUTOMATION Fixload TM은 반도체 제작 실험실에서 사용하기 위해 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. "웨이퍼 '와" 마스크' 를 신속 하고, 효율적 이고, 신뢰 할 수 있도록 설계 되었다. 이 장비는 반도체 제작 실험실의 가혹한 생산 환경을 견딜 수있는 산업 등급 (industrial-grade) 구성 요소로 제작되었습니다. 픽스로드 스크러버 (Fixload scrubber) 에는 정밀 스크러빙을 위해 여러 방향으로 회전 할 수있는 3 축 동력 팔이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 웨이퍼와 마스크에서 오염 물질을 제거하기 위해 브러쉬 스크러빙 (scrubbing brushe) 이 포함되어 있으며 스크러빙 작업 사용자 정의를위한 프로그래밍 가능한 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 또한, 스크러빙 유닛은 특정 작업을 수행하기 위해 프로그래밍 할 수있는 최대 25 개의 레시피를 저장할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 고효율 물 및 화학 관리 장치를 통합합니다. 이렇게 하면 스크러빙 프로세스 중에 웨이퍼와 마스크가 제대로 청소됩니다. 기계 는 수돗물 에 연결 될 수 있고, 중앙 "클리너랜드 '는" 필터' 를 사용 하여 공정 으로 인한 낭비 와 오염 을 감소 시킬 수 있다. Fixload 도구의 안전 기능에는 충격 위험을 방지하는 Low-Level Voltage 작업 영역이 포함됩니다. 스크러빙 과정에서 적용되는 예방적 압력은 조정이 가능하고 쉽게 모니터링됩니다. 또한 강력한 진공 자산 (Vacuum Asset) 은 공정 중에 오염 물질이 축적되는 것을 방지합니다. Fixload 스크러버의 사용자 인터페이스는 직관적으로 설계되었습니다. 이 모델에는 모든 스크러빙 매개변수와 이해하기 쉬운 아이콘을 보여주는 컬러 그래픽 LCD 디스플레이가 있습니다. 또한 진행 상황, 문제 해결에 도움이 되는 오류 코드 (error codes), 결과를 추적하고 필요에 따라 조정할 수 있는 강력한 통계 수집기 (Statistics Collector) 에 대한 피드백을 제공합니다. 전반적으로 Fixload TM은 반도체 제작 연구소에 이상적인 선택입니다. 여러 개의 조절 가능한 스크러빙 매개변수 (scrubbing parameter) 와 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖춘 매우 효율적이고 안정적인 자동 스크러빙 장비를 제공합니다. 대용량, 고정밀 생산 환경에 적합한 선택입니다.