판매용 중고 BOC EDWARDS W 75 #88073
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ID: 88073
Wet scrubber
Part no: NPU571000
120/208V, 60 Hz
1 phase, 4W
9.5 FLA
8 Amp motor
10,000 I.A.C.
Specified for:
Hydrogen
Nitrogen
Hydrogen Chloride Anhydrous
Dichlorosilane
Germane.
BOC EDWARDS W 75 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 반도체 제작에서 뛰어난 품질과 고급 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 스크러버 는 오염 을 최소화 하면서 "웨이퍼 '와" 마스크 클리닝' 을 개선 할 수 있는 기능 으로 설계 되었다. 이 "모우터 '는 이중" 브러쉬' 기술 과 결합 된 강력 한 "모우터 '로서 어떤 표면 에서도 뛰어난 스크러빙 성능 을 제공 한다. 이 장치를 사용하면 브러쉬의 주파수 (frequency) 와 속도 (speed) 를 조정할 수 있으므로 기판에서 클리닝 성능을 최적화할 수 있습니다. etching, lithography, CMP (chemical mechanical planarization), photoresist 및 patterning 프로세스를 포함한 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. W 75 (W 75) 는 완전히 밀폐 된 밀봉 장치이며 공기 입자 오염을 최소화하기 위해 단일 환기 덕트로 설계되었습니다. 다음과 같은 다양한 기능이 있습니다. 사용자 친화적인 디지털 컨트롤, 회전 속도 5 개, 브러쉬 이동 (가변 브러쉬 이동) 을 통해 사용자는 클리닝 프로세스의 빈도와 속도를 조정할 수 있습니다. 스크러버 (Scrubber) 는 긴급 상황 시 시스템을 종료할 수 있도록 비상 정지 (Emergency Stop) 기능도 갖추고 있습니다. 이 장치에는 폐기물 액체를 수집하기 위해 10 리터 밀폐 된 스테인레스 스틸 저수지가 장착되어 있으므로 유출 및 오염을 방지합니다. 스크러버에는 세탁실 및 저수지에 편리하게 접근 할 수있는 2 개의 쉽게 열린 뚜껑이 있습니다. 뿐 만 아니라, "탱크 '와 기판 의 온도 를 감시 할 수 있도록 온도" 게이지' 가 통합 되어 있다. BOC EDWARDS W 75는 효율적인 스크러버로, 위험한 연기를 방출하거나 과도한 소음 오염을 유발하지 않기 때문에 청소실 응용에 이상적입니다. 강력한 구성과 낮은 전력 소비는 추가 장점입니다. 모듈식 설계로 유지 보수 및 청소가 쉽습니다. 결국, W 75 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 반도체 제조에서 뛰어난 성능 및 청소 정확성을 제공하도록 설계된 고급 기계입니다. 다양한 디지털 컨트롤, 조절 가능한 브러쉬 이동, 비상 정지 기능 (Emergency Stop Function) 을 갖추고 있어 모든 청소실 또는 제작 시설에 이상적인 선택입니다.
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