판매용 중고 BOC EDWARDS Tempest #9218196

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ID: 9218196
빈티지: 2004
Wet scrubber 2004 vintage.
BOC EDWARDS Tempest는 세척된 웨이퍼와 마스크를 엄격하게 스크러빙하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 스크러버 (scrubber) 와 린스 (rinse) 스테이션 (station) 을 모두 갖춘 듀얼 디자인으로 수동 처리 및 화학 물질 누출을 제거하며 오염 위험을 최소화합니다. 스크러버 (scrubber) 는 효과적인 스크러빙 및 청소 작업을 위해 두 개의 별도 구획에 위치한 여러 개의 모터 구동 반회전 브러시를 사용합니다. 카운터 사용자 회전 (counter user-rotation) 은 클리닝 솔루션을 균등하게 배포하고 스크럽 영역 (scrub zone) 의 특정 지점에서 솔루션의 축적을 방지하는 데 도움이됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 PTFE 코팅 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 제작되었으며 청소가 쉽고 모든 내부 구성 요소에 대한 개방형 액세스를 통해 빠르고 쉽게 유지 관리할 수 있습니다. "스크러버 '는 또한" 히이터' 와 여과 장치 를 갖추고, 용도 간 에 깨끗 하고 뜨겁게 용도 를 유지 하여 "클리닝 패드 '의 수명 을 연장 시킨다. 린스 스테이션 (Rinse Station) 에는 두 개의 별도의 클린 존 (Clean Zone) 이 있으며, 이중 스크러빙 기능과 함께 다른 재료 간의 뛰어난 클리닝 성능을 보장합니다. 린스 스테이션 (Rinse Station) 에는 재료 변경을 감지하고 그에 따라 린스 매개변수를 조정하는 센서가 장착되어 있습니다. 또한, 각 린스 스테이션 (Rinse Station) 은 특정 온수 탱크 및 펌프로 구성하여 린스 워터의 부피를 사용자 정의할 수 있습니다. 온수 범람과 빠른 차단 밸브의 조합은 과잉 기도와 교차 오염을 예방하는 데 도움이됩니다. 마스크 스크러버는 Type A 및 Type B 마스크와 함께 사용하여 하드 및 소프트 마스킹 재료를 청소할 수 있습니다. 템페스트 (Tempest) 는 DI 물, 에틸렌 글리콜, 항정적, 알코올 및 염산을 포함한 여러 표준 화학 물질과 호환되므로 다양한 재료에 사용될 수 있습니다. 또한 내장 버블 억제 시스템 (bubble suppression system) 덕분에 스플래싱 (splashing) 이 최소화되고 안정된 화학적 사용량을 보장합니다. 이 장치는 스크러버 내부에 내장 라미나 공기 스트림을 사용하여 입자 간의 충돌을 방지합니다. 이것은 스플래싱을 감소시켜 스크러빙이 매우 효과적인지 확인합니다. 그 에 더하여, 기계 역시 "에너지 '효율 이 높은데, 대기 가 은밀 하게 밀봉 되어 있고" 펌프' 도구 는 사용 되지 않을 때 대기 모드 로 남아 있기 때문 이다. 전반적으로 BOC EDWARDS 템페스트 (BOC EDWARDS Tempest) 는 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 짧은 시간 안에 최고의 품질의 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 그 특징 은 가장 심하게 더럽혀진 "마스크 '와" 웨이퍼' 까지도 깨끗 하게 할 수 있게 해 주며, 더럽혀진 "마스크 '와" 웨이퍼' 는 오염 의 위험성 이 낮고 화학적 으로 사용 된다.
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