판매용 중고 BOC EDWARDS System #9038520

BOC EDWARDS 장비 (BOC EDWARDS Equipment) 는 반도체 산업 및 기타 관련 산업의 정확한 표준을 충족하도록 설계된 정교하고 자동화된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 단일 프로세스에서 와퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 의 자동 스크러빙 및 컨택트 클리닝 기능을 모두 제공하는 통합 솔루션입니다. 시스템은 2 개의 구성 요소 (스크러버 자체 및 접촉 스테이션) 가있는 단일 챔버 스크러버로 구성됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 매우 깨끗한 스크러빙 프로세스를 제공하여 생산 프로세스 및 제품 품질에 악영향을 줄 수있는 잔류 물을 제거하도록 설계되었습니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 처리를 최소화하여 수동 조작에서 사람의 오류 가능성을 줄입니다. BOC EDWARDS Unit에는 고급 스크러빙 및 접촉 청소 기능이 장착되어 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 최대 250 바에서 작동하는 고압 제트 (jet) 를 사용하여 제어 환경에서 장치에서 입자와 이물질을 제거합니다. "스크러버 '의 독특 한" 디자인' 을 통해 청소 하는 장치 의 크기 와 모양 에 맞춘 "스프레이 패턴 '을 이용 하여 효과적 이고 매우 정확 한 잔류 장치 를 제거 할 수 있다. 기계에는 빠르고 효율적인 접촉 청소 프로세스를 제공하는 연락처 스테이션도 포함되어 있습니다. 콘택트 스테이션 (Contact Station) 은 미리 정의된 압력과 온도에서 공기와 용매를 정확하게 제어 한 조합을 장치에 제공합니다. 이 프로세스는 접촉-청소 (contact-cleaning) 전에 기계식 스크러빙 (scrubbing) 프로세스에서 남아 있을 수 있는 잔기를 제거하므로 장치에 가장 효과적인 클리닝 (cleaning) 만 적용됩니다. BOC EDWARDS TOOL은 웨이퍼와 마스크를 위한 깨끗하고, 자동화되고, 재현이 가능한 클리닝 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 자산은 장치의 잔류 수치가 일관되게 제어되도록 설계되었습니다. 이는 완료된 장치가 먼지와 오염이 없도록 하는 것이 중요하며, 필요한 표준을 충족하는 데 중요한 역할을 합니다 (영문). 보크 에드워즈 모델 (BOC EDWARDS Model) 은 반도체 산업의 정확한 요구 사항을 충족시킬 수있는 고급 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 스크러버를 찾는 고객에게 적합한 선택입니다. 그것 은 빠르고, 능률적 인, 정확 하고 균일 한 청소 과정 을 마련 할 수 있다. 통합 장비 (Integrated Equipment) 를 사용하면 손쉽게 구성하고 사용할 수 있으며, 신뢰할 수 있고 반복 가능한 청소 결과를 고객에게 제공합니다.