판매용 중고 BOC EDWARDS System #9038519

BOC EDWARDS 장비는 반도체 등급 웨이퍼 및 마스크에서 다양한 표면 오염 물질을 효율적으로 청소하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. "제트 스프레이 ', 온수" 탱크', 수돗물 을 사이온화 된 물 로 바꾸는 화학적 농축기 등 이 시스템 에 포함 된다. 한 번에 최대 20 개의 웨이퍼 또는 12 개의 마스크를 청소할 수 있으며, 클리닝 주기 시간은 17 분 미만입니다. BOC EDWARDS Unit은 최대 10 개의 청소 노즐을 사용하는 제트 스프레이 영역으로 시작합니다. 이 영역은 모든 유형의 흙, 그릿, 먼지 및 기타 표면 잔류 물을 완전히 제거하도록 설계되었습니다. "웨이퍼 '와" 마스크' 는 "제트 '" 스프레이' 밑 을 지나가는데, 이것 은 최대한도 의 적용 범위 를 보장 하도록 주 의 깊이 설계 되어 있다. Jet Spray Area 뒤에는 자동 온수 탱크가 있습니다. 이것은 남아있는 잔기를 추가로 청소하고 린스하는 데 사용됩니다. 이 "탱크 '는 또한 물 속 의 화학 농도 를 계속 사라지게 하기 위하여 순환 하는 물" 펌프' 를 입히고 있다. 그런 다음 기계는 초 필터링 된 수돗물이 화학이없는 이온화 된 물로 전환되는 Chemical Concentrator로 이동합니다. 이 물은 예열된 다음 Hot Water Tank로 다시 펌핑됩니다. 거기에서 웨이퍼와 마스크는 Air Knife Dryer로 운송됩니다. 이 건조기는 고속 연속 공기 흐름을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 철저히 말리고 습기가 없습니다. BOC EDWARDS Tool의 마지막 단계는 Ozone Rinse Module입니다. 이 모듈은 오존 (O3) 을 에셋 (Asset) 에 도입하여 안티 포깅 에이전트 역할을하며, 또한 추가 청결 레이어를 제공합니다. 박테리아와 유기 화합물을 파괴하면서 추가 위생 혜택을 제공합니다. BOC EDWARDS 모델을 운영하는 동안 안전과 효율성을 보장하기 위해 PLC (programmable logic controller) 가 포함되어 있습니다. 이를 통해 간편한 문제 해결, 자동화된 데이터 로깅 장비, 간편한 원격 모니터링이 가능합니다. 안전성을 더욱 높이기 위해 BOC EDWARDS 시스템에는 경보 및 재정의 기능을위한 온보드 컴퓨터 제어 장치 (On-board computer control Unit) 도 있습니다. BOC EDWARDS Machine은 다양한 어플리케이션에 적합한 효율적이고, 안정적이며, 사용하기 쉬운 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 일련의 강력한 제트 스프레이, 온수 탱크, 화학 농축기, 오존 린스 모듈을 결합하여 Tool은 불필요한 잔류를 피하면서 17 분 이내에 최대 20 개의 웨이퍼 또는 12 개의 마스크를 청소할 수 있습니다. 또한, 자동 온보드 컴퓨터 제어 (On-Board Computer Control) 는 안전 및 보안 계층을 추가하는 한편, 운영 문제를 쉽게 해결하고 원격으로 모니터링할 수 있습니다.