판매용 중고 BOC EDWARDS System #9038511

BOC EDWARDS 장비는 반도체 웨이퍼와 마스크의 안전하고 효과적인 청소를 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (스핀 와셔라고도 함) 입니다. 이 시스템은 오늘날 반도체 생산의 증가하는 요구와 높은 처리량 요구 사항에 이상적입니다. 가장 엄격한 업계 표준을 충족하고 최적의 성능을 제공하는 매우 신뢰성 있고 에너지 효율적인 스크러버 (스크러버) 입니다. BOC EDWARDS Unit에는 여러 웨이퍼와 마스크를 동시에 회전시켜 생산성을 극대화할 수 있는 자동 머신 (Automated Machine) 이 있습니다. 그것 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 결함 과 입자 를 탐지 하기 위한 고급 CCD 시력 과 "센서 '로 설계 되었다. BOC EDWARDS Tool (BOC EDWARDS Tool) 은 이러한 민감한 구성 요소에 정전기를 제거하여 입자의 형성을 방지하는 통합 정적 제거 캐비닛으로 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 프로세스 및 동기화를 모니터링하는 프로그래밍 가능한 제어 자산 (control Asset) 이 있으며, 이를 통해 사용자는 최적의 결과를 위해 클리닝 주기와 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. BOC EDWARDS 모델에는 스크러버 액체 탱크 (scrubber liquid tank) 가 장착되어 있으며, 가장 안전한 청소 방법을 제공하기 위해 낮은 수준의 세제를 사용합니다. "스크러버 '는 또한 가장 완고 한 입자 를 제거 하면서, 성분 을 부드럽게 그러나 효과적 으로 깨끗 하게 할 수 있는 강력 한 물" 제트' 를 특징 으로 한다. 또한 코너 (corner) 와 누크 (nook) 와 같은 도달 하기 어려운 지역을 청소하는 데 사용할 수있는 물 스프레이 건으로 설계되었습니다. 이 "탱크 '에는 입자 를 포착 하는 강력 한 여과 장치 가 장착 되어 있어, 가장 안전 한 청소 환경 을 보장 해 준다. 스크러버에는 최대 10 미크론의 입자를 필터링하는 데 사용할 수있는 자체 여과 BOC EDWARDS 시스템이 제공됩니다. 이 필터는 동시에 스크러빙하는 동시에 저압 (low pressure) 수준을 유지하도록 설계되어 전반적인 성능을 향상시킵니다. 장치에는 자동 도어 잠금 (Automatic Door Locking), 안전 덮개, 비상 정지 단추 등의 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 이 BOC EDWARDS Machine은 오류 또는 오작동시 자동 종료 프로토콜로 설계되었습니다. 또한 수온을 모니터링하는 내장형 (BIST) 검출기가 포함되어 있어 안전하고 통제된 청소 환경을 보장합니다. 툴은 효율성과 유연성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 손쉬운 작동 및 유지 보수를 위해 사용자 친화적인 LCD 디스플레이가 장착되어 있습니다. 기본 실험실 소프트웨어, 프로덕션 소프트웨어 (production software) 와 호환되므로 운영 및 연구 애플리케이션에 이상적입니다. 이 고급 스크러버 는 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 청소 하는 데 안전 하고 신뢰 할 만한 해결책 이다.