판매용 중고 ATMI / ECOSYS Vector Ultra 3000 #9265769

ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 및 포토 마스크 (photomask) 와 같은 민감한 기판의 정확하고, 안정적이며 반복 가능한 청소가 필요하도록 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. ATMI Vector Ultra 3000은 클리닝 프로세스를 최적화하고 최적의 결과를 얻기 위해 특별히 설계되었습니다. 브러쉬 스크러빙 장비, 별도의 유체 역학적 스크러버, 직접 접촉 스크러빙, 이중 스크러빙 컨트롤, 통합 현미경 카메라, 고압 이온화 된 물 린스 시스템, 가열 건조 장치 등이 있습니다. 브러쉬 스크러빙 머신은 고속 모터를 사용하여 2 개의 독립적 인 브러시 헤드를 구동합니다. 브러쉬 헤드는 반회전하거나 서로 동기화되어 기판의 전체 표면에 균일 한 스크러빙 (scrubbing) 을 제공합니다. 이를 통해 모든 오염 물질이 균등하게 제거됩니다. 두 번째 스크러빙 도구는 유체 역학적 스크러버입니다. 이것은 고급 노즐 어셈블리 (advanced nozzle assembly) 를 사용하여 이온화 된 물의 초미세 제트를 생성하며, 이는 기질에서 표면 오염 물질을 제거하도록 지시됩니다. 이중 스크러빙 제어 (scrubbing control) 자산은 분기 헤드 속도 및 유체 역학적 제어 설정을 조정하여 최적의 클리닝 결과를 얻을 수 있는 기능을 제공합니다. 내장형 현미경 카메라는 운영자에게 실시간 시각적 피드백 (visual feedback) 을 제공하며, 전체 클리닝 프로세스의 이미지를 캡처하도록 구성할 수 있습니다. ECOSYS Vector Ultra 3000에는 고압 이온 화 된 물 린스 모델도 있습니다. 이것 은 모든 "클리닝 '화학 물질 의 흔적 을 제거 하고 모든 오염 물질 을 철저 히 제거 한다. 마지막으로 가열 건조 장비가 Vector Ultra 3000에 통합되었습니다. 여기에는 듀얼 핫 에어 노즐 (dual hot air nozzle) 과 함께 작동하여 증발을 가속화하고 기질에서 수분을 빠르고 효율적으로 제거하는 조절 가능한 팬 세트가 포함됩니다. 결론적으로 ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000은 이전에 불가능한 청소 프로세스를 가능하게하도록 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 브러쉬 스크러빙 시스템, 별도의 유체 역학적 스크러버, 이중 스크러빙 컨트롤, 통합 현미경 카메라, 고압 이온 화 된 물 린스 장치, 가열 건조 장치 등을 통해 일관되고 신뢰할 수있는 결과를 제공 할 수 있으며, 비용 효율적인 청소 솔루션.