판매용 중고 ATMI / ECOSYS Vector Ultra 3000 #9061874

ID: 9061874
Gas Abatement System.
ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000은 반도체 생산 프로세스에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 다양한 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 크기에서 표면 청소 작업을 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. ATMI Vector Ultra 3000은 초음속 진동 (ultra-sonic vibration) 과 스프레이 스크러빙 (spray scrubbing) 기술의 독특한 조합을 사용하여 기판에 대한 최소한의 손상으로 철저한 청소 작업을 수행할 수 있습니다. 이러 한 "와퍼 '와" 마스크 스크러버' 의 상태 는 "반도체 웨이퍼 '와" 마스크' 제작 의 까다로운 환경 에 이상적 이며, 마비, 식각 또는 왜곡 의 최소 가동 중지 시간 혹은 위험 으로 우수 한 청소 작용 을 한다. ECOSYS Vector Ultra 3000은 3 단계 청소 프로세스를 사용하여 최적의 표면 청소 결과를 보장합니다. 첫 단계 동안, 스크러버 (scrubber) 는 비누 용수로 채워져 모든 표면을 청소해야합니다. 2 단계는 초음파 진동 (ultrasonic vibration) 과정을 활용하여 표면을 동요시키고 물질에 깊숙이 박힌 토양과 입자를 분해합니다. 세 번째 단계 와 마지막 단계 는 스프레이 스크러빙 (spray scrubbing) 과정 으로, 모든 토양 과 입자 가 용액 의 부드러운 "스프레이 '에 의해 씻겨지게 한다. 이 과정은 표면을 완전히 깨끗하게하고 오염이 없습니다. 벡터 울트라 3000 (Vector Ultra 3000) 은 최대 200mm 직경의 플랫 웨이퍼에서 빈 스플릿 (bin split) 및 이진 코딩 웨이퍼 (binary coded wafer) 에 이르기까지 모든 유형의 웨이퍼를 청소하도록 설계되었습니다. 스크러버에는 2 개의 유연한 스프레이 암 (spray arm) 이 장착되어 다양한 웨이퍼 및 마스크 모양 구성을 청소 할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 조정 가능한 스프레이 압력 설정이 있으며, 이를 통해 거친 표면 입자 또는 완고한 잔기를 청소 할 수 있습니다. ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000에는 포괄적 인 안전 시스템이 포함되어 있으므로 잠재적으로 위험한 물질이 장치에 들어가는 것을 방지합니다. ATMI Vector Ultra 3000의 모든 구성 요소는 고급, 부식 방지 재료로 제조되어 길고 안정적인 서비스 수명을 보장합니다. 스크러버 (scrubber) 는 모듈식으로 설계되었으며, 기존 운영 프로세스에 쉽게 통합되므로 다운타임 및 설치 중단을 최소화할 수 있습니다. ECOSYS 벡터 울트라 3000 (Vector Ultra 3000) 은 완전히 자동화되어 있어, 외부 입력과 무관하게 실행할 수 있으며, 반도체 업계에서 효율적이고 비용 효율적인 클리닝 솔루션을 제공합니다.
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