판매용 중고 ATMI / ECOSYS Guardian GS4 #9263190
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ATMI/ECOSYS Guardian GS4는 대용량 제조 작업을 위해 설계된 차세대 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 단일 장치에 여러 개의 자동 클리닝 기술이 결합된 독립형 시스템입니다. 고속 웨이퍼 및 마스크 클리닝, 고속 스프레이 스크럽, 자동 습식 및 드라이 스크러빙, 청소 솔루션 전용 퍼지 포트 등이 있습니다. ATMI Guardian GS4는 최대 8 인치 (최대 8 인치) 의 웨이퍼와 최대 18 인치 (최대 18 인치) 의 마스크 자동 스크러빙을 제공하여 현재 시장에서 가장 강력하고 효율적인 스크러버 중 하나입니다. 멀티 스레드 클리닝 메커니즘을 통해 최대 1,500 RPM의 빠른 속도로 웨이퍼와 마스크를 청소할 수 있습니다. 독보적인 DD (Direct Drive) 스크러빙 시스템으로 설계되어 추가 구성 요소를 사용하지 않고도 최적의 클리닝 성능을 보장합니다. ECOSYS/GUARDIAN GS4는 효율적으로 오염없이 청소하기위한 기본 4 단계 프로세스를 갖추고 있습니다. 첫 번째 단계인 사전 스크럽 모드 (Pre-Scrub Mode) 는 고속 물 스프레이로 청소하기 전에 웨이퍼와 마스크를 로드하고 수집합니다. 두 번째 단계인 스크러빙 모드 (Scrubbing Mode) 는 자동 습식 및 건식 스크러빙을 사용하여 기판에 남아있는 잔기를 추가로 제거합니다. 세 번째 단계인 퍼지 모드 (Purge Mode) 는 전용 퍼지 포트를 사용하여 오염 물질을 플러시합니다. 마지막으로, 네 번째이자 마지막 단계인 복구 모드 (Recover Mode) 는 고속 공기 스트림을 사용하여 기판을 건조하고 청소실로 반환합니다. Guardian GS4는 길고 안정적인 수명을 보장하기 위해 고품질 구성 요소 및 재료로 제작되었습니다. 수작업 (manual cleaning) 개입의 필요성을 최소화하여 인건비 (labor and cleaning supplies) 를 대폭 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 사용자에게 친숙한 소프트웨어를 통해 개별 매개변수 및 설정 (예: 스크러빙 시간, 출력, 클리닝 솔루션 농도) 을 프로그래밍할 수 있습니다. ATMI/ECOSYS/GUARDIAN GS4는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 대용량 제조 작업에 적합합니다. 첨단 기술은 최고 수준의 품질로 탁월한 클리닝 성능을 보장합니다. 모든 운영 환경의 요구를 충족할 수 있는 상당한 운영 유연성을 제공합니다. 첨단 기술 사양을 통해 품질 (Quality) 을 향상시키고 고객의 생산 비용을 절감할 수 있습니다.
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