판매용 중고 ATIS Miracle #9020509
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ID: 9020509
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2007
Wafer cleaner with accessory, 8"
HF, HNO3, HCl, O3 available
Measurement for gaseous phase and a liquid state for SC2, a liquid state for dHF
Liquid state for low concentration
2007 vintage.
ATIS Miracle은 실리콘 웨이퍼, 포토 마스크 및 기타 특수 기판에서 입자와 오염 물질을 빠르게 청소, 제거, 제거하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 혁신적인 시스템은 화학, 기계, 전기 공정 (electrical process) 의 조합을 사용하여 기판에 위험하지 않은 강렬한 청소 동작을 만듭니다. 기적은 독점 청소 용액의 화학 목욕으로 시작합니다. 이 수성 청소 용액은 입자, 유기 및 무기 오염 물질, 그리고 기질의 표면에서 나온 다른 잔해물을 분해하기 위해 특별히 공식화된다. 가장 고집 센 유기 잔류 물조차도 이 단계로 빠르고 쉽게 제거 할 수 있습니다. ATIS Miracle 프로세스의 다음 단계는 기계적 스크러빙입니다. 문지른 지팡이 (scrubbing wand) 는 기판의 표면을 부드럽게 긁는 전동 플랫폼으로 구동됩니다. 문지른 지팡이 는 고집 이 센 입자 들 을 지표면 으로부터 "스크래치 '를 하거나 섬세한 기판 을 손상 시키지 않도록 설계 되었다. Miracle 프로세스의 마지막 단계는 전기 청소입니다. 기질 에 전기 전하 를 가하여, 오염 물질 을 중화 시키고, 기질 로부터 더 끌어내린다. 이 전기 청소 단계 는 "기판 '의 원래 형태 와 기능 을 회복 하는 데 도움 이 될 수 있으며, 심지어 가장 완고 한 입자 들 까지도 제거 할 수 있다. ATIS Miracle은 기판에서 입자와 오염 물질을 빠르게 제거 할 수있는 혁신적인 청소 시스템입니다. 이것 은 함께 작용 하는 화학적· 기계적· 전기적 과정 을 조합 하여 뛰어난 "클리닝 '결과 를 얻음 으로써 작용 한다. 이 시스템은 위험하지 않으며, 입자, 유기 및 무기 오염 물질, 기타 잔해물을 기판 표면에서 빠르고 효과적으로 분해 할 수 있습니다. "미라클 '은 기판 을 원래 의 형태 와 기능 으로 회복 시킬 수 있으며, 어떤 특이 한 혹은 특수 기판 에 이상적 인 청소" 솔루션' 이다.
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