판매용 중고 AOC MAST-3000-AT #9145578

AOC MAST-3000-AT
ID: 9145578
Mask cleaning system Main units: Loader CC-1 bath Nanostrip-1 bath Nanostrip-2 bath QDR-1 bath QDR-2 bath IPA vapor dryer Unloader Hot DIW (48kw) Specification of process baths: Chuck cleaning bath(CC bath) Nanostripbath Quick drain rinse bath (QDR) Isopropyl alcohol vapor bath (IPA) Chemical supply box H2SO4 Buffer & Circulation unit H2O2 Supply H2SO4 Supply IPA Supply.
AOC MAST-3000-AT (AOC MAST-3000-AT) 는 현대 반도체 산업의 포토 마스크 준비의 효율성과 정확성을 높이기 위해 설계된 고성능 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 스크러버는 최대 6 "(150mm) 레티클과 최대 10" (250mm) 웨이퍼를 최대 1.2kg까지 처리 할 수있는 고급 장비입니다. 모든 표준 포토 마스크 청소 솔루션 및 버퍼링 에이전트와 호환됩니다. MAST-3000-AT (MAST-3000-AT) 는 속도, 압력, 유지 시간 제어 등의 스크러빙 작업을 자동화하여 클리닝 프로세스의 최고 품질, 일관성을 보장하는 포괄적인 기능을 제공합니다. 스크러버에는 스테퍼 모터 구동 듀얼 스크럽 휠 (stepper motor driven dual scrub wheel) 이 장착되어 있어 넓은 지역에서 균일하고 일관된 스크러빙을 보장합니다. 또한 웨퍼 (wafer) 또는 마스크 홀더 (mask holder) 간에 빠르고 쉽게 움직일 수있는 조절 가능한 헤드가 특징입니다. 이 시스템은 공기 입자와 연기를 제어하기 위해 강력하면서도 조용한 환기 장치를 제공합니다. 게다가, "스크러버 '에는 안전 덮개 가 들어 있는데, 안전 덮개 는 우발적 인 유출 을 방지 하기 위한 비상 사태 가 발생 할 때 열릴 수 있다. 스크러버에는 최대 부식 내성 및 내구성을 위해 스테인리스 스틸 (stainless steel) 구조가 장착되어 있습니다. AOC MAST-3000-AT는 고급 동작 제어 알고리즘 (Motion Control Algorithm) 및 이미지 처리 시스템 (Image Processing Machine) 을 사용하여 운영 처리량을 극대화하도록 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 는 사용자 정의 빌드 모션 제어 (custom built motion control) 알고리즘을 사용하여 각 웨이퍼 또는 마스크에 대한 최적의 스크러빙 패턴을 계산하며, 도구는 사용자 요구 사항 및 사양에 맞게 사용자정의할 수 있습니다. 이 기능은 스크러빙 프로세스의 전반적인 정확성과 일관성을 증가시킵니다. 또한, 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼 표면에서 스크래치 또는 기타 손상을 감지 할 수있는 이미지 처리 자산을 제공합니다. 스크러버에는 표준 인터페이스 (Standard Interface) 가 장착되어 있어 모델과 고객의 다른 시스템 간에 데이터를 전송할 수 있습니다. MAST-3000-AT (MAST-3000-AT) 는 반도체 산업의 크고 작은 웨이퍼 청소 프로세스에 이상적인 강력하고 안정적인 스크러버입니다. 현대 생산 환경을 위한 비용 효율적이고 효율적인 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다