판매용 중고 AIRTECH ACB-221CS #9143756

AIRTECH ACB-221CS는 반도체 생산에 사용되는 포토 마스크 및 웨이퍼 청소, 스크러빙 및 처리를 위해 설계된 Wafer & Mask Scrubber입니다. 혁신적인 기능으로 인해 전기 화학 및 화학 스크러빙에 이상적인 선택이되었습니다. ACB-221CS는 동적 3 방향 스크러빙 스테이션을 갖추고 있으며, 마스크 크기나 유형에 관계없이 균일 한 클리닝으로 양면 처리를 제공합니다. 총 5 개의 스크러버가 제공됩니다. 웨이퍼는 3 개, 포토 마스크는 2 개. 각 스크러버에는 프로세스를 쉽게 정렬 및 변경하기 위해 자동 인덱서 및 액츄에이터가 장착되어 있습니다. 옵션으로 제공되는 통합 비전 (integrated vision) 장비는 높은 정확도와 반복성을 갖춘 자동 마스크 정렬을 제공합니다. 청소 프로세스는 온도, 압력, 흐름 속도에 대한 정확한 데이터를 활용하여 정확한 제어를 보장하는 실시간 전자 모니터링 시스템 (real-time electronic monitoring system) 에 의해 제어됩니다. 정교하고 빠르게 반응하는 피드백 루프 (feedback loop) 는 최적의 성능과 일관성을 조정하고 보장하도록 설계되었습니다. 0으로. 반복 가능성 비율에 주목하여 AIRTECH ACB-221CS는 매우 안정적이고 정확한 청소를 보장합니다. ACB-221CS는 강력한 안전 기능과 부식 및 스플래시를 방지하는 폐쇄 루프 (closed-loop) 장치를 제공합니다. 자동 도어 잠금 장치 (Door-Lock Machine) 와 함께 제공되어 처리 중에 열리지 않도록 하며, 뛰어난 안전을 보장합니다. 에너지 효율적이고, 유지 보수가 적은 공압 도구로 구동되는 220CS는 공기 소비와 소음 오염을 줄이고, 에너지 절감 효과를 높여주는 최적화된 설계를 갖추고 있습니다. AIRTECH ACB-221CS는 대부분의 포토 마스크 및 웨이퍼와 호환되며 질소와도 호환됩니다. 향상된 유연성을 제공하며 다양한 클리닝 프로세스를 지원합니다. 안정적이고 정확한 ACB-221CS는 photomask 청소/처리, 웨이퍼 스크러빙 및 기타 모든 생산 요구에 적합합니다.