판매용 중고 ADVANTEST E3610 #9188019

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ID: 9188019
빈티지: 2006
Wafer Mask CD SEM Post 64nm technology node Front end module Fan filter unit SMIF Versa port Electric frame Vacuum pump unit Ozonizer unit Customer TMC active isolation pad, 24" floor 2006 vintage.
ADVANTEST E3610은 반도체 산업의 선두 주자인 ADVANTEST Corporation이 개발 한 완전자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. E3610은 강화 된 반도체 제조를 위해 강력하면서도 유연하고, 청소하고, 파괴하는 웨이퍼 및 마스크 (마스크) 를 제공하며, 웨이퍼 표면에서 최대 5 um (최대 5 um) 의 고정밀 클리닝 기능을 제공합니다. 장점 E3610은 코팅, 스테인리스 스틸 설계를 사용하여 청소할 때 뛰어난 내구성과 정확성을 제공합니다. 이렇게 하면 처리 중인 부품이 제조업체의 가장 높은 정확도 요구사항에 대해 일관되게 연마됩니다 (영문). 이 기계는 또한 스크러버, 진공 챔버, 진공 펌프, 필터 컨베이언 및 안전 챔버 (Safety Chamber) 를 갖춘 7 파트 모듈 식 설계를 특징으로하며, 다중 파트 연마 및 데크 청소가 가능합니다. 스크러버 (scrubber) 는 장치의 주요 구성 요소이며, 조절 가능한 스크러버 암 (scrubber arm) 이 장착되어 있어 웨이퍼 크기와 연마 속도를 선택할 수 있습니다. 스크러빙은 8 단계 스크러빙 공정으로 이루어지며, 여기에는 조잡하고 잘 연마됩니다. 또한 스크러빙 (scrubbing) 솔루션은 사용자의 정확한 청소 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. "진공" 챔버 '는 "스크러빙' 과정 중 에 생성 된 모든 입자 를 수집 하여 빨아들일 수 있게 해 준다. 이렇게 하면 청소 과정에서 발생할 수 있는 오염을 피할 수 있습니다. 진공 "펌프 '는 강력 한 흡입력 을 사용 하여 남아 있는 모든 입자 를 끌어내어, 어떤 오염 물질 도 작업 구역 밖 에서 빠져나오게 하고, 또한 작업 환경 을 깨끗 하게 유지 하는 데 도움 이 된다. 필터 전달은 오염 된 입자가 스크러버 환경을 떠나는 것을 방지하고, 스크러브 된 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 데 도움이됩니다. 안전 챔버 (Safety Chamber) 는 스크러버 작동 중에 발생할 수있는 문제가 해결되고, 또한 사용자에게 적절한 수준의 안전 (Safety) 을 제공하도록 보장합니다. 전반적으로 E3610은 매우 발전된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 반도체 제조공정의 오염을 없애고 효율성을 높이면서 "정밀청소 (precision cleaning) '와" 디버링 (deburring)' 을 가능하게 한다. 내구성, 안전성 측정 (Safety Measure), 모듈식 설계를 통해 고품질 (High-Quality) 출력을 보장하면서 유지 보수 비용을 절감하고자 하는 기업에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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