판매용 중고 ACCRETECH / TSK A-CS-100A #9375854
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ACCRETECH/TSK A-CS-100A Wafer & Mask 스크러버는 마이크로 프로세서와 같은 매우 정밀한 구성 요소 제조를 지원하도록 설계된 자동 마이크로 일렉트로닉스 제작 도구입니다. 이 기계는 업계 표준의 정확한 요구 사항을 충족시키기 위해 연약한 층과 섬세한 마이크로 (micro-features) 를 보호하면서 섬세한 기판을 청소하고 수동화 (passivization) 할 수 있습니다. TSK A-CS-100A는 독점적 인 CSDS (Coated Solution Dispensing Equipment) 로 설계되었으며, 이는 모든 기판 표면에 정밀한 클리닝 및 수동화 솔루션을 혼합하여 균일성과 일관된 품질 표준을 보장하는 독특한 기능입니다. 특허를 받은 CSDS 는 유기적 (organic build-up) 및 오염을 방지하는 균일 한 코팅 계층을 보장하며, 미세 기능을 보존하고, 프로세스 비용과 주기 시간을 줄입니다. 또한 CSDS 시스템은 "run in place" 기능을 제공하여 사용자가 운영 중단 없이 시스템을 재설정할 수 있습니다. ACCRETECH A-CS-100A Wafer & Mask 스크러버는 기판에 손상을 입히지 않고 청소하도록 설계된 3 단계 청소 프로세스로 설계되었습니다. 이 기계는 습식 (wet) 과 건식 (dry) 공정을 모두 통합하여 발진과 소멸 작용을 사용하여 균일 한 청소를 보장합니다. 습식 청소의 경우, 기계는 스크러버 (scrubber), 펌프 가능 미디어 2 개 제트 (pumpable media) 및 스핀 제트 미디어 (spin-jet media) 의 조합으로 작동하여 기판의 언더 커팅과 사이드 월에 도달하기 위해 열심히 도달합니다. 특허를받은 천이없는 고무로 된 브러시 (brush) 와 결합 된 일련의 드라이 와이핑 (dry wiping) 단계를 통해 청소가 용이합니다. 이 기계는 또한 견고한 충격 (shock) 과 진동 제어 장치 (Vibration Control Unit) 를 사용하여 로드 및 언로드 중 섬세한 부품이 손상되지 않도록 보호합니다. 이 기계는 오래 지속되고 깨끗하며 손상되지 않은 프로세스를 유지합니다. 이 기계는 또한 AFM 제어 틸트 각도 메커니즘을 통합하여 부품을 정확하게 배치하고 정렬 할 수 있습니다. 또한 A-CS-100A는 결함이있는 웨이퍼를 거부하기위한 습식 및 건식 옵션을 제공합니다. 전반적으로, ACCRETECH/TSK A-CS-100A는 오늘날 마이크로 전자 산업의 점점 더 엄격한 품질 요구 사항을 충족시키는 정확하고 효율적인 도구를 제공합니다. 청소 프로세스, 충격 및 진동 제어, 기울기 각도 제어 (tilt-angle control) 를 사용하면 소액 기능을 보존하고 비용을 절감하면서 민감한 기판을 청소하고 수동화할 수 있습니다.
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