판매용 중고 ACCRETECH / TSK A-CS-100A #9123958

ACCRETECH/TSK A-CS-100A는 반도체 웨이퍼 제조 프로세스 및 CMP 프로세스에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 자동, 프로그래밍 가능한 다기능 스크러버로, 클린 룸 환경에서 사용할 수 있습니다. TSK A-CS-100A는 최신의 최적화된 CMP 연마 기술을 활용하여 고품질의 고정밀 표면 처리 결과를 얻습니다. 이 스크러버 (scrubber) 에는 가공소재 모양의 영향을 받지 않기 때문에 균일 한 프로세스를 제공하는 벨트 머신 (Belt Machine) 디자인이 있습니다. 업데이트된 기술을 통해 ACCRETECH A-CS-100A는 고급 및 효율적인 청소 기능을 보장합니다. 또한 주변 환경으로 인한 외국 입자를 막기 위해 자동 분리 (autoseparating) 및 세척 기능이있는 공기 필터 장치 (air filter unit) 가 포함되어 있습니다. 스크러버에는 15 개의 사전 설정된 레시피 프로그램, 수동 (manual) 및 반자동 프로세스 제어, 매개변수 편집 등 다양한 안정적인 연마 기능을 갖추고 있습니다. 또한, A-CS-100A에는 LCD 모니터가 포함된 터치 작동 패널이 있어 프로세스를 손쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. 이 스크러버에는 자체 진단 시스템, 직선 및 비틀림 방향을 수용하는 풀리 (pulley) 모양의 작업 테이블, 고조파 드라이브 제어 (harmonic drive control) 와 같은 다른 표준 기능도 포함됩니다. ACCRETECH/TSK A-CS-100A에는 가공소재의 오염을 방지하기 위해 청소실 환경에서 외국 입자를 검출하는 연마제 슬러리 안전 시스템 (alrasive slurry safety system) 및 공기 여과 시스템 (air filtration system) 과 같은 안전 관련 기능이 수반됩니다. 더 나아가, 비상용 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 와 자동 정문 (Automatic Front Door) 이 모두 있으며, 이 두 도어는 비상시 또는 청소실에 들어가야 할 경우 프로세스를 중지하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 TSK A-CS-100A 에는 작동 중 소음 수준을 줄이기 위해 설계된 고속 진공 배기 팬 시스템이 장착되어 있습니다. 결론적으로 ACCRETECH A-CS-100A는 청소실 환경에서 사용하도록 설계된 고급 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버에는 15 개의 사전 설정 레시피 프로그램, 수동 및 반자동 프로세스 컨트롤, 매개변수 편집, 공기 여과 시스템 등 다양한 기능이 있습니다. 또한 A-CS-100A에는 연마제 슬러리 안전 시스템, 비상 정지 스위치, 자동 전면 도어 등 안전 관련 기능이 있습니다. ACCRETECH/TSK A-CS-100A는 웨이퍼 제조 프로세스 및 CMP 프로세스에 대한 다양한 고품질, 고정밀 표면 처리 결과를 제공하도록 최적화되었습니다.