판매용 중고 ACCRETECH / TSK A-CS-100A #9100958
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ACCRETECH/TSK A-CS-100A Wafer & Mask Scrubber는 반도체 웨이퍼와 마스크를 손상시키지 않고 청소하거나 유해 물질을 생성하도록 설계된 일체형 로봇 스크러빙 도구입니다. 글로브박스 (glovebox), 랩 (lab) 또는 프로덕션 (production) 환경에 배치할 수 있으므로 다양한 작업에서 사용할 수 있습니다. 이 장비는 2 개의 스크럽 암 (scrub arm) 과 방수 프레임 (water resistant frame) 을 사용하여 웨이퍼와 마스크 양쪽에 동시에 스크러빙을 제공합니다. 팔에는 실리콘 스크러버 (silicone scrubber) 가 장착되어 있으며, 섬세한 재료를 손상으로부터 보호하면서 웨이퍼와 마스크를 긁을 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 스크러빙의 정확한 압력과 속도, 그리고 다른 매개변수들을 제어할 수 있는 PC에 연결되어 정확한 클리닝 결과를 보장합니다. 또한 이 PC는 스크러버의 인터페이스 역할을 하며, 사용자가 미리 정해진 스크러빙 패턴을 설정하거나 wafer loading, returning 등의 기능을 수동으로 수행할 수 있습니다. 게다가, 스크러버에는 자동 웨이퍼-던지기 메커니즘이 장착되어 있는데, 이 메커니즘은 스크러빙 프레임에서 오염된 웨이퍼를 제거하도록 설계되었습니다. TSK A-CS-100A 의 클리닝 (cleaning) 기능은 내장 건조 시스템에 의해 더욱 향상되었으며, 이 시스템은 스크러빙 후 웨이퍼와 마스크를 빠르고 효율적으로 말릴 수있는 일련의 에어 나이프를 사용합니다. 이 로 말미암아 구성 요소 를 청소 하는 데 걸리는 시간 이 줄어들 뿐 아니라, "웨이퍼 '와" 마스크' 에서 모든 잔류 물 이 제거 되어, 물 의 손상 이나 다른 종류 의 오염 을 방지 할 수 있게 된다. 마지막으로, ACCRETECH A-CS-100A에는 강력한 모니터링 장치가 함께 제공되며, 이는 웨이퍼와 마스크의 스크러빙 (scrubbing) 조건을 표시하는 데 사용할 수 있습니다. 이 데이터는 USB (USB) 를 통해 외부 PC로 익스포트하여 추가 분석을 통해 모든 웨이퍼 및 마스크를 깨끗하게 정리할 수 있습니다. 결론적으로 A-CS-100A (A-CS-100A) 는 반도체 웨이퍼와 마스크를 매우 정확하고 효율적으로 청소할 수있는 고도의 로봇 스크러빙 머신입니다. 이 제품은 섬세한 물질을 손상으로부터 보호하기 위해 설계되었으며, 내장 건조 도구 (Built-In Drying Tool) 와 모니터링 (Monitor) 기능을 통해 과학 연구 및 생산 환경에 이상적인 툴이 되었습니다.
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