판매용 중고 ACCORD 400 #9361775
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어코드 400 (ACCORD 400) 은 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러빙이 필수적인 클린 룸 설정에 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 강력한 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 400 스크러버 (scrubber) 는 고압 스프레이 노즐 (high pressure spray nozzles) 과 로봇 암 모션 (robotic arm motion) 의 조합을 사용하여 매우 철저한 청소가 가능한 균일 한 클리닝 솔루션 층을 만드는 자동 장비입니다. "로봇 '암 은" 웨이퍼' 나 "마스크 '표면 을 특정 한 패턴 으로 정확 하게 문지르도록 계획 되어 있어서 완전 히 청소 된다. 이 하이엔드 기술은 탁월한 청결성을 제공하며, 수동 스크러빙의 필요성을 현저히 줄여줍니다. ACCORD 400 스크러버는 불순물을 제거하고 뛰어난 청소 성능을 제공하는 통합 필터 및 데가 모듈 (degas module) 을 갖추고 있습니다. 이 필터 시스템은 청소실 환경에 중요한 방출 오염 물질 (emited contaminant) 의 양을 줄이는 데 도움이됩니다. "스크러버 '는 또한 유기 물질 과 오염 물질 을 효과적 으로 제거 하는 데 도움 이 되는 자동 절제 옵션 을 가지고 있으며," 웨이퍼' 와 "마스크 '표면 은 훨씬 더 깨끗 하고 잔기 가 없다. 400 "스크러버 '는 여러" 노즐' 에 서로 다른 압력 과 각도 로 깨끗 한 해결책 을 제공 하는 강력 하고 "에너지 '효율적 인" 펌프' 장치 를 가지고 있다. 따라서 입자를 청소하지 않을 수있는 데드 스팟이 없습니다. 통합 로봇 암 (Robotic Arm) 은 빠른 속도와 효율성으로 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 를 모두 스크러빙하여 처리량을 향상시키고 다운타임을 줄일 수 있습니다. "스크러버 '에는 또한 작동 중 에 청결 함 과 안전 을 감시 하기 위한" 센서' 배열 이 들어 있다. ACCORD 400은 완전히 밀폐되어 있으며, 클로즈드 루프 머신으로 기능하며, 품질 및 안전 모니터링을 위해 사전/사후 스크러빙 액체 샘플을 캡처합니다. 스크러버에는 지능형 소프트웨어와 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) (Graphical User Interface, GUI) 가 장착되어 있어 설치가 단순화되며 프로세스에 익숙하지 않은 고객에게도 쉽게 작업을 수행할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 안전 임계값을 초과할 때 사용자에게 경고하는 가청 알림이있는 통합 안전 프로토콜 (integrated safety protocol) 을 제공합니다. 전체적으로 400 개의 스크러버 (스크러버) 는 높은 수준의 자동화, 우수한 클리닝 성능, 향상된 안전 프로토콜을 제공하여 깨끗하고 오염 없는 환경을 보장합니다. "와퍼 '와" 마스크' 스크러빙 작업 을 "클린룸 '의 환경 에서 이상적 으로 선택 할 수 있다.
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