판매용 중고 ACCORD 400 #9355546

ACCORD 400은 대용량 웨이퍼 및 마스크 청소 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 최대 18 인치 직경의 웨이퍼를 문지르고 건조 할 수 있으며 최대 25 인치 x 32 인치 크기의 마스크를 만들 수 있습니다. 스크러버의 스크럽 가능 표면은 부식 내성 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 내부는 견고하고 마모 내성, 열 안정성 플라스틱으로 구성되어 있습니다. 스크러버에는 효율적인 공기 순환 및 냉각을 위해 공기 흡입구와 콘센트가 장착되어 있습니다. 400 웨이퍼 및 마스크 스크러버에는 균일 한 스크러빙 및 건조 기능을 제공하도록 설계된 강력한 4 모터 어레이가 장착되어 있습니다. 각 "모우터 '는 전체" 스크러빙' 과 건조 기간 을 낮게 유지 하면서 "스크러빙 '공정 의 속도 와 힘 을 변화 시키도록 조정 할 수 있다. 스크러버는 또한 높이 조절 가능한 스크럽 가능 표면을 특징으로하며, 이는 레벨 13에서 레벨 3.5로 조정 할 수 있습니다. 조정 가능한 높이는 먼지, 입자, 오염 물질이 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 욕조에 침투하지 않도록 탁월한 보호 기능을 제공하는 환경 인클로저를 만드는 데 도움이됩니다. 스크러버는 또한 화학 필터 및 고효율 미립자 공기 (HEPA) 필터로 구성된 2 단계 여과 장비를 갖추고 있습니다. 화학 필터는 화학 미립자 및 기타 오염 물질을 제거하는 반면, HEPA 필터는 서브 미크론 입자 및 기타 오염 물질을 제거한다. 두 여과 단계는 스크러빙 (scrubbing) 및 건조 (drying) 과정을위한 거의 멸균 환경을 만들도록 설계되었습니다. 그리고 최고 수준의 스크러빙 (scrubbing) 및 건조 성능을 보장하기 위해 스크러버 (scrubber) 에는 여과 시스템에서 내장 오염 물질을 자동으로 지우는 자체 클리닝 사이클이 장착되어 있습니다. 또한 ACCORD 400 웨이퍼 및 마스크 스크러버에는 자동 챔버 도어 개폐 장치 (opening and closing unit) 와 시청각 경보기가 있습니다. 이렇게 하면 작업 효율이 향상되고, 프로그래밍 시 챔버 과부하, 전원 중단 또는 오류 발생 시 경보 인력이 발생하도록 할 수 있습니다. 400 (400) 은 일관성 있고 안정적이며 강력한 클리닝 성능을 제공하도록 설계된 매우 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 대용량 웨이퍼 및 마스크 청소 응용 프로그램을위한 이상적인 스크러버입니다.